RMS-5 Motorized Rotary Stage旋轉(zhuǎn)臺
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在RMS-5完全從外部環(huán)境密封。完美的應(yīng)用,如半導(dǎo)體晶圓切割。
該RMS-5擁有IP68施工潛水旋轉(zhuǎn)應(yīng)用。在RMS-5也適合于戶外應(yīng)用情況下是必需的灰塵和濕氣的保護(hù)。該設(shè)計(jì)采用單個預(yù)裝交叉滾子軸承表機(jī)芯的優(yōu)勢。這種設(shè)計(jì)方法消除了使用這樣的雙軸承結(jié)構(gòu)改善對軸向跳動和擺動。這種潛水旋轉(zhuǎn)舞臺利用蝸輪傳動帶的72齒輪比:1和36:1。蝸輪預(yù)加載,以盡量減少齒輪系的反彈。
該RMS-5標(biāo)配集成光學(xué)原點(diǎn)開關(guān),大小23步進(jìn)電機(jī),以及10英尺長的電機(jī)電纜和信號電纜。一個可選的旋轉(zhuǎn)編碼器可用于步進(jìn)馬達(dá)。對于高速應(yīng)用RMS-5水下轉(zhuǎn)臺可與大小23無刷伺服電機(jī)。
技術(shù)指標(biāo)
分辨率:高達(dá)0.36弧秒(取決于傳動比和電機(jī)類型)
準(zhǔn)確性:70弧秒
最大速度:步進(jìn)電機(jī):25°/秒(72:1的齒輪比),50°/秒(36:1的齒輪比)
伺服電機(jī):180°/秒(72:1的齒輪比),360°/秒(36:1的齒輪比)
單向重復(fù)性:5弧秒
雙向重復(fù)性:45弧秒
最大輸出扭矩:10.2牛米(90磅英寸)
最大承載能力:36.3公斤(80磅)
行程范圍:360°連續(xù)
編碼器:光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器安裝到后電機(jī),4000 CPR與指數(shù)
(可選)
限位開關(guān):無
來源:光開關(guān)家
在光學(xué)編碼器索引標(biāo)記(帶編碼器選項(xiàng))
變速比:72:1或36:1的
重量:5千克(11磅)
材料:鋁合金建筑
黑色陽極氧化處理