美國API ADVANCED PHOTONICS氣體凈化器型號 C-6000 – 用于多氣體準分子激光器
用于準分子激光器的 API 氣體凈化器提高了激光器的性能 延長激光機維修間隔。腐蝕性雜質 選擇性地去除由激光作用產生的氣體以保持純度 在混合氣體中。請求 API 技術簡報第 118 號。產品包括 可滿足不同類型準分子激光系統(tǒng)的需求。
用于多氣體準分子激光器
C-6000 與所有準分子激光器和激光氣體類型兼容 具有自動控制和易于更換氣體的功能。C-6000 系列 提供卓越的性能結果。C-6000 可以是 針對特殊應用進行配置，例如高壓范圍 和高流速要求。自動 LN2可以添加重新填充作為額外選項。
| 顆粒過濾 | < 0.1 微米;> 99.95% 的留存率 |
| 工作溫度 | 77° K 至 150° K。 |
| 氣體循環(huán)流量 | 30 標準升/分鐘 |
| 氣體壓力范圍 | 1 至 5 巴（絕對壓力） |
| 凈液氮容量 | 13.6升 |
| 尺寸 | 22 英寸（高）x 19 英寸（寬）x 22 英寸（深） |
