目標(biāo)
將碳石墨感應(yīng)體加熱至1200°C，用于砷化鎵的沉積。通過將碳石墨加熱到上述溫度，并在感應(yīng)體上吹過氦氣，可以沉積砷化鎵并形成晶圓。該應(yīng)用在水冷石英管內(nèi)進行，每分鐘通過40升氦氣。加熱過程必須非常精確、可重復(fù)且均勻。

材料
直徑為3英寸、厚度為1英寸的碳石墨感應(yīng)體。

溫度
1200°C

應(yīng)用
通過使用Ambrell 15 kW輸出功率的固態(tài)感應(yīng)電源、水冷石英管、氦氣和一個四匝螺旋線圈，取得了以下結(jié)果：
– 每分鐘通過4英寸直徑的石英管輸送40升氦氣。
– 在45秒內(nèi)達到1200°C。
– 使用紅外光學(xué)高溫計觀察到均勻的加熱模式。

設(shè)備
Ambrell 15 kW輸出功率的固態(tài)感應(yīng)電源，包括一個遠程加熱站，其中包含四個電容器，總?cè)萘繛?.0 μF；一個由1/4英寸銅管制成、內(nèi)徑為5 1/2英寸的四匝螺旋線圈；以及一個紅外光學(xué)高溫計。

頻率
93 kHz