Beam Imaging離子槍系統(tǒng)G-1和G-1-D型離子槍、G-2和G-2-D型離子槍

Beam Imaging離子槍系統(tǒng)、BIS G-1和G-1-D型離子槍、

BIS G-2和G-2-D型離子槍

Beam Imaging提供兩種類型的離子槍系統(tǒng)。每個(gè)槍包括離子源組件、散熱器、加速和聚焦系統(tǒng)、垂直偏轉(zhuǎn)板、6英寸長的速度過濾器和速度過濾器保護(hù)環(huán)控制單元。組件裝配在一個(gè)真空外殼中，該外殼配有一個(gè)法蘭，用于安裝到客戶的設(shè)備上。保護(hù)環(huán)控制單元可以安裝在標(biāo)準(zhǔn)的19”機(jī)架面板中。如果需要，可以訂購定制法蘭和附加端口。當(dāng)槍需要束減速器時(shí)，包括一個(gè)適配器法蘭(型號G-1-D和G-2-D離子槍)。波束成像還提供控制單元(E系列)對于上述離子槍系統(tǒng)?？刂茊卧ú僮麟x子槍所需的所有電源，以及用于離子源和真空計(jì)控制的冷卻單元。所有離子束組件也可單獨(dú)或成套提供(離子源、熱沉、速度過濾器、提取和聚焦透鏡系統(tǒng))。這些完整的套件被稱為離子束套件。

G-1和G-1-D型離子槍(不可烘烤)

G-1型可以在500電子伏到10千電子伏(可選20千電子伏)的能量范圍內(nèi)運(yùn)行。如果需要小于500 eV的離子束能量，我們推薦使用G-1-D型，它包括400型或450型減速器，可以產(chǎn)生能量低至1 eV的質(zhì)量選擇離子束。G-1系列的真空外殼由拋光不銹鋼管制成，直徑6英寸，長約19英寸。長度包括500型絕緣子安裝法蘭。當(dāng)與400型或450型減速器一起使用時(shí)，G-1-D的總長度為23 1/8英寸。兩種離子槍外殼都配有一個(gè)6英寸內(nèi)徑的粗抽端口。型號G-1和G-1-D上的標(biāo)準(zhǔn)出口法蘭是一個(gè)8”外徑和6”內(nèi)徑的匯合法蘭。然而，當(dāng)與減速器(僅400型)一起使用時(shí)，G-1-D型有一個(gè)2 3/4″出口法蘭。型號G-1和G-1-D都適用于10的真空使用-7?托和不是為烘烤設(shè)計(jì)的。

G-2和G-2-D型離子槍(可烘烤)

G-2和G-2-D離子槍都設(shè)計(jì)為在500電子伏到10千電子伏(可選20千電子伏)的能量范圍內(nèi)工作。然而，配有可選的400型或450型減速器的G-2-D離子槍可以使用到1 eV。G-1和G-2系列離子槍有兩個(gè)不同之處。G-2離子槍被設(shè)計(jì)成可烘烤到200度oc，用于超高真空(UHV)系統(tǒng)。速度過濾器上的電磁線圈封裝在不銹鋼護(hù)套中，并由液體冷卻，因此允許更高的電流和磁場強(qiáng)度。BIS推薦將CU-1冷卻裝置用于磁體和離子源冷卻。G-2和G-2-D的尺寸分別與G-1和G-1-D相同。G-2和G-2-D的設(shè)計(jì)都適合10的真空使用-9托。

ResolutionM/D M ~ 400
Ion CurrentUp to 20 micro-amp focussed, 100 micro-amp unfocussed
Ion Source (DC)Filament 16 V – 20 A, Anode 0 – 150 V, 0.4 A
Ion Source (RF)0-500Watts at 13.56 MhZ
Lens System0 – 10 kV, 1 mA Acceleration Voltage, 0 – 10 kV, 0.5 mA Focussing Voltage
Vertical Deflection Plates0 – 400 V, 1mA
Velocity Filter MagnetModel G-1: 9.5 V, 3 A, Model G-2: 28 V, 14 A Continuous operation
Velocity Filter Deflection Plates0 – 350 V, 50 mA (Floating outputs)
模型G-1, G-1-D, G-2, G-2-D

附加設(shè)備

定制法蘭和端口。定制法蘭和附加端口可與雙離子槍系統(tǒng)一起訂購。接觸束成像為了引用。

400型光束減速器和450型光束減速器。:BIS建議離子束減速器(型號400)用于小于500 eV的離子能量。型號G-1-D和型號G-2-D包括標(biāo)準(zhǔn)型號G-1和G-2，分別帶有可選型號400或型號450減速器和型號400-A適配器法蘭(僅適用于型號400)。

離子槍控制單元:BIS為上述離子槍系統(tǒng)提供控制單元(E系列)?？刂茊卧ú僮麟x子槍所需的所有電源以及離子源的冷卻單元。真空計(jì)控制也包括在內(nèi)。

波束觀測系統(tǒng):可選的射束觀察系統(tǒng)(BOS)可以輕松調(diào)整離子束的空間輪廓。該系統(tǒng)在離子槍的初始啟動(dòng)中是一個(gè)無價(jià)的幫助。

Beam Imaging離子槍系統(tǒng)G-1和G-1-D型離子槍、G-2和G-2-D型離子槍


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