DOVER MOTION,微型線性平臺MMX™-Z-25,高通量目標(biāo)聚焦應(yīng)用,MMX-Z-25 是一款微型線性平臺,內(nèi)置驅(qū)動器特別適用于臺式儀器和小型空間。其緊湊結(jié)構(gòu)提供了優(yōu)異的機(jī)械剛性與伺服帶寬,非常適合高通量成像應(yīng)用。
微型線性平臺 – MMX™-Z-25
高通量目標(biāo)聚焦應(yīng)用解決方案
規(guī)格參數(shù)
產(chǎn)品描述
MMX-Z-25 是一款微型線性平臺,內(nèi)置驅(qū)動器特別適用于臺式儀器和小型空間。其緊湊結(jié)構(gòu)提供了優(yōu)異的機(jī)械剛性與伺服帶寬,非常適合高通量成像應(yīng)用。
技術(shù)規(guī)格(Specifications)
參數(shù) | 數(shù)值 |
---|---|
行程 | 25 mm |
精度 | 6 μm TIR |
重復(fù)精度 | ±0.4 μm |
最大負(fù)載(帶磁性配重) | 1.5 kg |
產(chǎn)品特點(Description)
MMX-Z-25 微型線性平臺設(shè)計特點
獨特電機(jī)設(shè)計:提供更平穩(wěn)的運動表現(xiàn)與行業(yè)領(lǐng)先的速度穩(wěn)定性。
無刷無鐵芯直線伺服電機(jī):支持高速、免維護(hù),適用于高通量應(yīng)用;同時具備無齒槽效應(yīng)的平滑運動,結(jié)合 6 μm TIR 精度和 ±0.4 μm 重復(fù)精度。
配重能力
小于 0.2 kg:無需配重
0.2 kg – 1.5 kg:使用磁性配重
1.5 kg – 4.5 kg:使用氣動配重
體積最小的直驅(qū)線性電機(jī)平臺
采用直驅(qū)電機(jī)技術(shù),無需傳統(tǒng)機(jī)械傳動,具備更高精度、減少磨損、響應(yīng)更快、運行更安靜等優(yōu)勢,便于集成。
提升效率的緊湊設(shè)計
MMX 平臺采用高精度防爬滾柱導(dǎo)軌,確保超平穩(wěn)運動、高剛性與可靠性,同時保持低外形高度,提升通量性能。
快速穩(wěn)定定位
剛性滾柱導(dǎo)軌與強(qiáng)大電機(jī)實現(xiàn)快速定點響應(yīng),提高成像效率。
高分辨率反饋系統(tǒng)
配備高分辨率線性編碼器和伺服控制系統(tǒng),實現(xiàn)業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的 6 μm TIR 精度,并帶有可調(diào)限位傳感器安裝座。
可選配置(Options)
電機(jī)選項:無鐵芯直驅(qū)伺服電機(jī)
反饋選項:線性編碼器(支持模擬或數(shù)字,標(biāo)準(zhǔn)分辨率為 1 或 0.1 微米,其他可定制)
應(yīng)用領(lǐng)域(Applications)
MMX-Z-25 提供優(yōu)異的機(jī)械剛性與伺服性能,專為高通量聚焦應(yīng)用設(shè)計,適用于:
焦平面定位:Z 向聚焦小于 5 微米的位移通常在 20 毫秒內(nèi)完成,可與 XY 移動同步。
幀捕獲:就位穩(wěn)定性對圖像質(zhì)量至關(guān)重要;位置穩(wěn)定性/抖動通常小于 100 納米。
節(jié)省空間:平臺結(jié)構(gòu)緊湊,適合嵌入臺式儀器內(nèi)部。
說明 | 版本 | 下載鏈接 | 備注 |
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MMX-Z-25 微型線性平臺數(shù)據(jù)表 | Rev A4 | 下載 | 完整技術(shù)規(guī)格文檔 |
電氣引腳定義 | 2015-12 | 下載 | 接線說明 |
http://guanyatd.com/dovermotionstage/DOVER MOTION,微型線性平臺MMX™-Z-25,高通量目標(biāo)聚焦應(yīng)用/??