電子回旋共振離子源，可產(chǎn)生帶點原子和分子離子束流。等離子體由一個固態(tài)微波發(fā)生器加熱，萃取系統(tǒng)是一個靜電棱鏡。工作氣體由一個高重復(fù)性高穩(wěn)定性的控制器提供，設(shè)備很容易安裝在高壓靜電加速器的終端。

能量：最高30kev

束流大小：100?eμA

微波頻率：（2.45?±?0.15）GHZ

最大微波能量：200w

尺寸：

等離子體腔體長度：200mm

等離子體腔體直徑：100mm

離子源長度：290mm

離子源直徑：210mm

重量：20kg（拓展系統(tǒng)35kg）