美國(guó)Get Control—三軸加速度計(jì)測(cè)試工具

AMHS（自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)）和輸送設(shè)備制造商使用三軸加速度計(jì)測(cè)試工具，在系統(tǒng)的開發(fā)、安裝和維護(hù)過程中對(duì)其振動(dòng)特性進(jìn)行量化和評(píng)估。這款工具已成為業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)，被用于200mm和300mm晶圓廠，用以測(cè)量其物料搬運(yùn)系統(tǒng)對(duì)晶圓批次所產(chǎn)生的振動(dòng)。

通過及早檢測(cè)軌道錯(cuò)位的跡象，可以對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行維護(hù)，從而將施加在晶圓批次上的振動(dòng)降到最小。該三軸加速度計(jì)測(cè)試工具既可獨(dú)立使用，也可與GCI信息中心配合，借助AMHS車輛提供的位置信息，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)記錄和追蹤

GCI 的三軸加速度計(jì)測(cè)試工具為 AMHS 供應(yīng)商和 最終用戶。該工具同時(shí)采集并記錄 X、Y 和 Z 軸上的振動(dòng)數(shù)據(jù) 自動(dòng)或手動(dòng)運(yùn)輸。

三軸加速度計(jì)測(cè)試工具由電池供電且自成一體。包括轉(zhuǎn)接板 將工具剛性安裝在 300 毫米 FOUP 內(nèi)。對(duì)于 200 mm 應(yīng)用，可以訂購(gòu)可選的安裝板 將工具剛性安裝在 200 毫米晶圓支架內(nèi)。LCD 顯示屏和鍵盤提供配置訪問 選項(xiàng)。

板載數(shù)據(jù)縮減

三軸加速度計(jì)測(cè)試工具每秒執(zhí)行 512 個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)的實(shí)時(shí)板載數(shù)據(jù)縮減 在每個(gè)軸上。提供了多個(gè)數(shù)據(jù)縮減選項(xiàng)，包括 RMS、Peak、Frequency at Peak 和 True RMS。 板載數(shù)據(jù)縮減以半秒的間隔執(zhí)行（使用 FFT），每 每個(gè)縮減類型的每個(gè)軸 second。錄制容量受減少類型限制（最長(zhǎng) 2 到 6 小時(shí)）。

減少的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在內(nèi)部 SD 卡上。在上傳到 PC 之前，可以存儲(chǔ)多個(gè)錄制會(huì)話 進(jìn)行分析。提供 RS-232 端口，用于使用?InfoCenter 桌面應(yīng)用程序上傳數(shù)據(jù)（請(qǐng)聯(lián)系 GCI）。

時(shí)域錄制選項(xiàng)

三軸加速度計(jì)測(cè)試工具可以選擇配置時(shí)域記錄選項(xiàng)，將時(shí)域數(shù)據(jù)記錄到安全數(shù)字存儲(chǔ)卡中。使用此選項(xiàng)，Tri-Axial Accelerometer （三軸加速度計(jì)） 測(cè)試工具每秒將 512 個(gè)時(shí)域數(shù)據(jù)點(diǎn)/秒直接記錄到已安裝的 SD 卡上。 錄制容量受 SD 卡可用空間的限制（最長(zhǎng) 6 小時(shí)）。數(shù)據(jù)縮減是 在 PC 上使用 GCI 的?VibPlot?或?InfoCenter Desktop?應(yīng)用程序提供。

VibPlot 分析應(yīng)用程序

VibPlot 屏幕截圖

VibPlot?提供了對(duì)記錄的時(shí)間進(jìn)行頻率分析的工具 domain 數(shù)據(jù)。VibPlot?復(fù)制了三軸加速度計(jì)中提供的板載數(shù)據(jù)縮減 Test Tool?的 API API 中的其他 API API 的 API API 中，還提供了額外的分析功能，例如三個(gè) 維度瀑布圖和顏色頻譜圖。時(shí)域數(shù)據(jù)可以是 顯示，以及縮減數(shù)據(jù)（RMS、峰值、真 RMS）和 FFT 的圖表 每 1/2 秒間隔的結(jié)果。

InfoCenter 桌面應(yīng)用程序

InfoCenter 桌面應(yīng)用程序在更新的?應(yīng)用程序，該應(yīng)用程序還可以上傳和顯示板載縮減的數(shù)據(jù)集。

特征

軸

  • X、Y 和 Z

測(cè)量

  • 頻率 DC 至 150Hz
  • 振動(dòng) 0.03g 至 2.00g （±0.01g）

電池/充電器

  • 可充電 LIMH 電池組
  • 先進(jìn)的電池充電電路
  • 鋰電池提供靜態(tài) RAM 備份 – 使用壽命長(zhǎng)達(dá) 10 年（運(yùn)行時(shí)間）
  • 帶警告指示燈的低電量感應(yīng)。

數(shù)據(jù)分析類型

  • RMS
  • 峰
  • RMS 和峰值
  • RMS、峰值和頻率
  • RMS、峰值、頻率、真 RMS 和 N

加速度計(jì)測(cè)試工具

用戶界面

  • 2 × 16 字符 LCD
  • 4 鍵鍵盤

Flash PROM

  • 存儲(chǔ)系統(tǒng)固件
  • 使用 GCI 的固件文件輕松升級(jí)

內(nèi)置 microSD 卡

  • 存儲(chǔ)錄制會(huì)話
  • 存儲(chǔ)容量允許數(shù)百個(gè)（取決于錄制長(zhǎng)度）單獨(dú)的帶時(shí)間戳的錄制會(huì)話

RS-232 接口

  • 提供一個(gè) RS-232 端口，用于將記錄的數(shù)據(jù)下載到主機(jī) PC。

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