快速定位和解決導(dǎo)致 E84 切換失敗的信號異常、掉線和毛刺。這款新一代記錄設(shè)備是一個(gè)小型獨(dú)立單元,插入無源設(shè)備和 PI/O 收發(fā)器之間,以捕獲 E84 握手并將其寫入其非易失性存儲器。其內(nèi)部存儲器能夠存儲 50 多個(gè) FOUP 切換。要擴(kuò)展其錄制容量,可以將其配置為使用其內(nèi)置的診斷過濾功能。啟用診斷篩選后,E84 DLD?會忽略良好的切換,只將失敗的切換寫入其內(nèi)部存儲器。該工具包括 GCI 行業(yè)領(lǐng)先的診斷軟件?E84 分析應(yīng)用程序。
工廠自動化廣泛用于 300 毫米半導(dǎo)體制造設(shè)施。300 毫米工藝設(shè)備利用帶有集成 E84 電氣接口的標(biāo)準(zhǔn)裝載端口,將物料輸送到自動化物料處理系統(tǒng)或從自動化物料搬運(yùn)系統(tǒng)輸送物料。GCI 的 E84 數(shù)據(jù)記錄設(shè)備 (DLD) 提供了一個(gè)緊湊的解決方案,可以非侵入式地監(jiān)控和記錄與 300 毫米材料切換作相關(guān)的 E84 握手。E84 數(shù)據(jù)記錄設(shè)備與 GCI 的 E84 分析應(yīng)用程序相結(jié)合,是捕獲、分析和解決 E84 切換問題而不中斷工作流不可或缺的工具。
特征
- 直接在工具和光收發(fā)器之間連接
- 無需外部電源
- 非侵入式感應(yīng) E84 接口信號
- 將 50 多個(gè)切換作記錄到非易失性存儲器
- 對所有記錄的數(shù)據(jù)進(jìn)行時(shí)間戳和日期戳
- 將記錄的數(shù)據(jù)上傳到 PC 和 GCI E84 手持式測試儀
- 環(huán)繞式錄制將最近的切換保存在內(nèi)存中
- 在 GCI E84 手持式測試儀和 PC 上實(shí)時(shí)繪圖
- 兼容 GCI E84 分析應(yīng)用程序
- 可選的診斷篩選,用于僅記錄失敗的切換
- (可選)記錄第一個(gè)有效的加載/卸載,僅記錄此后的失敗
- 統(tǒng)計(jì)記錄成功和失敗的切換次數(shù)
E84 數(shù)據(jù)記錄設(shè)備的安裝非常簡單。斷開光纖收發(fā)器的 DB-25 與工具頂部的接口位置的連接。將標(biāo)有“Load Port”的 DLD DB-25 插入工具的 DB-25。將光纖收發(fā)器的 DB-25 插入 DLD 的 DB-25 中標(biāo)有“Optical Transceiver”(光纖收發(fā)器)的 DB-25 中。在 DLD 和 PC 或 E84 手持式測試儀之間連接串行電纜并配置 DLD。配置完成后,斷開 PC 或手持式測試儀與 DLD 的連接。
DLD 立即開始記錄所有 E84 事務(wù)。通過將 PC 或手持式測試儀連接到 DLD 的串行端口,可以隨時(shí)上傳記錄的事務(wù)。此外,您可以使用 PC 或手持式測試儀實(shí)時(shí)監(jiān)控信號,而無需中斷切換作。
規(guī)格
- 電源 +24V @ 10mA 從 E84 +24V 電源獲得
- RS-232 串行通信接口
- 19 個(gè)輸入通道
- 500 Hz 采樣率
- 3.8 英寸 × 2.1 英寸 × 0.8 英寸(96.5 毫米× 53.3 毫米 × 20.3 毫米)
- DB-25 公頭(有源)和 DB-25 母頭(無源)端接