雙影像顯微鏡 單影像顯微鏡 陰影掩模對準(zhǔn)儀 科勒照明 紅外顯微鏡 DIM數(shù)字顯微鏡 SIM

應(yīng)用

Idonus 提供一系列模塊化數(shù)字顯微鏡，適用于微機(jī)械零件和微米級特征的觀察。基本系統(tǒng)是單影像顯微鏡（SIM），采用反射光照明。當(dāng)成對使用并安裝在可調(diào)支架上時(shí)，它提供了雙影像顯微鏡（DIM），用于平面對準(zhǔn)操作期間的屏幕可視化（例如，與我們的陰影掩模對準(zhǔn)儀（SMA）結(jié)合使用時(shí)）。

我們性價(jià)比高的數(shù)字顯微鏡的主要用途是用于潔凈室中的紫外光光刻。在紫外曝光之前，需要將基板與掩模精確對準(zhǔn)，這一過程可以使用我們的數(shù)字顯微鏡完成。因此，我們的產(chǎn)品設(shè)計(jì)允許將大型輔助設(shè)備放置在顯微鏡下方。例如，許多客戶將雙影像顯微鏡（DIM）作為實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，用于精細(xì)平面對準(zhǔn)操作時(shí)的屏幕可視化。典型應(yīng)用如圖1所示，其中DIM與我們的陰影掩模對準(zhǔn)儀（SMA）結(jié)合使用。

圖1：雙影像顯微鏡（DIM）與XYθ陰影掩膜對準(zhǔn)臺(tái)結(jié)合使用。此3D模型所示的對準(zhǔn)臺(tái)設(shè)計(jì)用于4英寸的晶圓。DIM由兩個(gè)管狀顯微鏡組成，可以通過螺絲調(diào)節(jié)以適應(yīng)任何晶圓尺寸。

工作原理

圖2：科勒照明在反射照明中的工作原理。光源被散焦，提供均勻的樣品照明。

我們的數(shù)字顯微鏡系列集成了反射光學(xué)系統(tǒng)，也稱為頂光照明（或 epi-illumination）。這種照明方式適用于觀察各種材料，并能滿足微系統(tǒng)檢查的大多數(shù)需求。

科勒照明 – 照明質(zhì)量是光學(xué)顯微鏡中的一個(gè)重要標(biāo)準(zhǔn)，尤其對于定量數(shù)字成像而言至關(guān)重要。我們集成了一個(gè) LED 照明系統(tǒng)，利用科勒照明技術(shù)提供均勻的照明。通過這種光學(xué)照明，光源被完全去焦，且在最終圖像中不可見（參見圖2）。這確保了高質(zhì)量的成像，并且所記錄的圖像可以用于后期處理（例如機(jī)器視覺）。

綠光LED – 綠光照明作為標(biāo)準(zhǔn)配置，因?yàn)槠洳ㄩL（約550 nm）適用于紫外光應(yīng)用。當(dāng)然，其他波長也是可能的，特別是紅外照明和紅外敏感相機(jī)可根據(jù)要求提供。需要注意的是，Idonus 還提供一款專用于硅基晶圓中掩埋硅氧化物（SiO2）檢查的紅外顯微鏡。

產(chǎn)品范圍

我們的單影像顯微鏡（SIM）和雙影像顯微鏡（DIM）都由一個(gè)管狀光學(xué)模塊組成，其原理如圖1所示。我們的SIM系列數(shù)字顯微鏡的組成部分包括：

  • SIM光學(xué)組件
    • ×1 帶集成均勻綠光LED照明的管狀光學(xué)系統(tǒng)
    • ×1 固定放大倍率的物鏡（對于“無限修正”版本，聚焦由旋鈕調(diào)節(jié)/對于共軸光學(xué)不需要聚焦）
    • ×1 USB連接的數(shù)字相機(jī)
    • LED光源的電源和控制單元
  • 帶平面安裝底座的主機(jī)
    • 精細(xì)螺絲調(diào)節(jié)高度（Z方向）
    • 精細(xì)螺絲調(diào)節(jié)X和Y位置
  • 用于數(shù)字圖像實(shí)時(shí)屏幕可視化的軟件

在我們的DIM系列中也有相同的組成部分，但在這種情況下，使用兩個(gè)管狀顯微鏡而非一個(gè)。在DIM顯微鏡中，兩個(gè)相機(jī)連接到計(jì)算機(jī)，并提供兩個(gè)不同區(qū)域的圖像，以便對基板進(jìn)行檢查。

圖3展示了幾種可能的配置。為了滿足客戶的需求，我們的模塊化系統(tǒng)還可以提供許多其他配置。例如，作為DIM系統(tǒng)的替代方案，用戶可以選擇將SIM顯微鏡安裝在帶有止動(dòng)器的滑軌上。

圖3：不同配置的SIM和DIM數(shù)字顯微鏡示例。還有許多其他配置可供選擇。

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