靜電夾具能夠通過靜電力將多個(gè)芯片或晶圓部分固定在晶圓支架上。

該設(shè)備對(duì)于研發(fā)機(jī)構(gòu)極為實(shí)用，尤其是在無法處理完整晶圓的情況下。靜電夾持芯片可以在HF蒸汽釋放之前執(zhí)行MEMS晶圓的嚴(yán)苛切割工藝。通過調(diào)整傳統(tǒng)的制造流程，可以生產(chǎn)具有極軟懸掛結(jié)構(gòu)的MEMS器件。

靜電夾具的使用非常簡(jiǎn)單。將芯片放置在晶圓支架上，然后通過控制器上的開關(guān)啟動(dòng)靜電力。此外，靜電力的強(qiáng)度可以調(diào)節(jié)。