電靜力卡盤(pán)能夠通過(guò)靜電力將多個(gè)芯片以及晶圓的部分夾持到晶圓支架上。

這種設(shè)備對(duì)于研發(fā)機(jī)構(gòu)非常有用，因?yàn)椴⒎强偸强梢蕴幚硗暾木A。通過(guò)電靜力夾持芯片，可以在HF蒸汽釋放之前執(zhí)行MEMS晶圓的嚴(yán)格切割工藝。通過(guò)修改傳統(tǒng)的制造順序，可以生產(chǎn)出具有極其柔軟懸浮結(jié)構(gòu)的MEMS器件。

電靜力卡盤(pán)的使用非常簡(jiǎn)單。將芯片放置在晶圓支架上，并通過(guò)控制箱上的開(kāi)關(guān)打開(kāi)電力。電靜力的大小可以進(jìn)行調(diào)整。

靜電卡盤(pán)既可以用于整個(gè)晶片的夾持，也可以用于單個(gè)芯片的靜電夾持。