陰影掩模對(duì)準(zhǔn)器旨在將掩模與基板精確對(duì)準(zhǔn)。使用例如蔭罩允許進(jìn)行無(wú)光刻的薄膜沉積。一旦晶圓在掩模下面對(duì)準(zhǔn)，兩個(gè)基板將被夾在雙卡盤中。然后，可以將夾有基板的雙卡盤插入PVD室中進(jìn)行蒸發(fā)。在沉積之后，將分離雙卡盤并且可以取出基板。

除了陰影遮罩之外，idonus遮罩對(duì)齊器還具有廣泛的應(yīng)用，例如：

• 陰影遮罩
• 粘接對(duì)齊
• 和更多…

簡(jiǎn)單

真空夾緊能力和3軸手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)功能使該面罩對(duì)準(zhǔn)器非常易于使用。

靈活性

對(duì)準(zhǔn)器已設(shè)計(jì)為可與多種晶圓尺寸和形狀（標(biāo)準(zhǔn)與否）一起使用。Idonus可根據(jù)您的需要制造卡盤。

精確

與顯微鏡結(jié)合使用，可以實(shí)現(xiàn)最小±5 μm的對(duì)準(zhǔn)公差。Idonus提出了他自己的雙圖像顯微鏡用于對(duì)準(zhǔn)控制。用戶可以同時(shí)聚焦和可視化2個(gè)對(duì)齊位置，以簡(jiǎn)化對(duì)齊過(guò)程。

使用Idonus雙圖像顯微鏡可實(shí)現(xiàn)+/- 5 μm的精確對(duì)準(zhǔn)。通過(guò)兩個(gè)攝像機(jī)在PC上監(jiān)視對(duì)齊。該設(shè)備旨在與我們的掩模對(duì)準(zhǔn)儀結(jié)合使用，但也可以用作獨(dú)立設(shè)備。