Idonus HF氣相蝕刻機(jī)靜電卡盤(pán)

靜電卡盤(pán)能夠通過(guò)靜電力將多個(gè)芯片以及晶片的一部分夾緊到晶片保持器上。
該設(shè)備對(duì)于研發(fā)機(jī)構(gòu)來(lái)說(shuō)非常有用，因?yàn)檠邪l(fā)機(jī)構(gòu)并不總是能夠處理完整的晶圓。芯片的靜電夾緊允許在HF蒸汽釋放之前對(duì)MEMS晶片進(jìn)行苛刻的切割過(guò)程。通過(guò)修改經(jīng)典的制造順序，可以生產(chǎn)出具有極軟懸浮液的MEMS器件。
靜電吸盤(pán)的使用非常簡(jiǎn)單。芯片被放置在晶片架上，電力由控制器箱上的開(kāi)關(guān)打開(kāi)。靜電力可以調(diào)節(jié)。