您是否需要一個(gè)方便明了的控制單元來控制真空系統(tǒng)的氣體流量？
您是否在工藝中使用不同的氣體或氣體混合物，并且您是否正在尋找一種方便可靠的方法來在體積流量變化時(shí)保持工藝氣體的混合比？
我們的?JEVAflow?產(chǎn)品系列中的四通道?FCU-4?流量控制器是由 JEVATEC GmbH 開發(fā)的多功能控制單元，在技術(shù)上與 PROTERIAL 的 ROD-4 相同。根據(jù)要求，我們還可以為您的應(yīng)用提供合適的 MFC。?
JEVAflow? FCU-4
- 控制單元，用于多達(dá) 4 個(gè)模擬或數(shù)字 MFC
- 易于讀取的 4 位 LED 顯示屏和每個(gè)通道的狀態(tài)指示燈
- 以測(cè)量范圍或 SLM/SCCM 的百分比顯示和輸入流量值
- 通過前鍵盤或 RS 232 串行接口進(jìn)行控制
- 主/從功能
- 每個(gè)通道 1 個(gè)模擬輸出
- 每個(gè)通道兩個(gè)繼電器，用于過程和閥門控制
- 全球通用的寬范圍電源
- 機(jī)架插槽 19 英寸，2 個(gè)高度單元
