Kimball Physics 電子槍 離子槍 真空產(chǎn)品 電子槍系統(tǒng) 低能量的電子槍系統(tǒng) 型號(hào) #： EGA-1012 EGPS-1012

中等直徑光斑尺寸的大電流

描述

大電流、中等直徑、低能量電子束

5 eV 至 1000 eV

應(yīng)用：

• 表面物理研究
• 真空物理實(shí)驗(yàn)
• 電荷中和
• 電子解吸
• 表面清理
• 熒光粉測(cè)試
• 電離實(shí)驗(yàn)
• 半導(dǎo)體加工

功能/選項(xiàng)：

• 光束電流高達(dá) 2mA
• Feedback Stabilized Emission Current
• 用戶(hù)可更換的點(diǎn)火裝置
• UHV 兼容 / 可烘烤
• 電腦 / 遙控器
• 光束脈沖選項(xiàng)

能量范圍：5 eV 至 1k eV
光束電流：1 μA 至 2 mA
光斑尺寸：10 mm 至 25 mm（無(wú)聚焦能力）
安裝：2.75“ CF
特點(diǎn)/選項(xiàng)：泛光光束、脈沖、雙網(wǎng)格

Kimball Physics EGA-1012 電子槍及其配套的 EGPS-1012 電源，旨在用于各種超高真空 （UHV） 物理實(shí)驗(yàn)、表面物理和需要低能量高束流的加工應(yīng)用。它是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，隨時(shí)可以連接和打開(kāi)。光束能量、光束電流和光束發(fā)散度都是可獨(dú)立調(diào)節(jié)的。EGA-1012 電子槍使用空間電荷受限的氧化物涂層陰極來(lái)產(chǎn)生均勻的泛光光束。這種設(shè)計(jì)允許產(chǎn)生低能量和極低電流的光束。

全程采用 UHV 技術(shù)。電子槍可在高達(dá) 350°C 的溫度下烘烤，無(wú)需電纜。使用法拉第杯時(shí)，最大值為 65^oC 除非被刪除。

標(biāo)準(zhǔn)陰極是一個(gè)大電流、堅(jiān)固的釔涂層圓盤(pán) （Y₂O₃).陰極在寒冷時(shí)不會(huì)因反復(fù)暴露在大氣氣體或水蒸氣中而損壞。該噴槍可以在 10 級(jí)真空中運(yùn)行^-11torr 到 10^-5托。陰極壽命是真空條件和束流與陰極溫度相關(guān)的函數(shù)。在良好真空下，低電流下的陰極壽命可能長(zhǎng)達(dá)數(shù)百小時(shí)，甚至超過(guò)一千小時(shí)。

其他信息：