Kimball Physics 陰極 – 發(fā)射極 帶保護(hù)環(huán)的六硼化鑭陰極 型號(hào) #： ES-423E-GR025 SG AEI 高性能、電阻加熱的熱電子源 用于許多亮度受限的電子光學(xué)系統(tǒng)：SEM、TEM、探針、電子光刻系統(tǒng)等

Kimball Physics 陰極 – 發(fā)射極 帶保護(hù)環(huán)的六硼化鑭陰極 型號(hào) #： ES-423E-GR025 SG AEI 高性能、電阻加熱的熱電子源 用于許多亮度受限的電子光學(xué)系統(tǒng)：SEM、TEM、探針、電子光刻系統(tǒng)等

Kimball Physics ES-423GR保護(hù)環(huán)六硼化鑭（LaB6） 陰極是一種高性能、電阻加熱的熱電子源。它目前用于許多亮度受限的電子光學(xué)系統(tǒng)：SEM、TEM、探針、電子光刻系統(tǒng)等。

晶體幾何形狀的設(shè)計(jì)類似于 LaB6 ES-423E 設(shè)計(jì)中帶有微扁平尖端的圓錐形。然而，這種先進(jìn)的設(shè)計(jì)優(yōu)化了微平坦區(qū)域的發(fā)射，并通過利用額外的保護(hù)環(huán)結(jié)構(gòu)抑制了傾斜錐形表面的發(fā)射，而無需來自 Wehnelt/grid 的高電場(chǎng)。

裸露的發(fā)射極表面直徑范圍為 10 μm 至 250 μm，標(biāo)準(zhǔn)直徑為 25 μm。單晶 LaB6<100> 方向，安裝在單件式無應(yīng)力碳加熱器棒的末端，并由碳套圈固定到位。附加的保護(hù)環(huán)孔徑結(jié)構(gòu)控制 LaB 的曝光6表面。

ES-423GR 型可提供帶有 LaB 的定制配置6以 60o 或 90o 的錐角切割晶體，微平面尺寸范圍為 10 μm 至 250 μm。The LaB6陰極可安裝在標(biāo)準(zhǔn) AEI 底座、Kimball Physics CB-104 陶瓷底座上或特定系統(tǒng)的各種定制底座上。

應(yīng)用：

  • 掃描電子顯微鏡
  • 透射電子顯微鏡
  • 電子光刻系統(tǒng)
  • 電子加速器
  • X 射線源
  • 自定義應(yīng)用程序

功能/選項(xiàng)：

  • 保護(hù)環(huán)設(shè)計(jì)，優(yōu)化了微平面的發(fā)射
  • 延長(zhǎng)使用壽命
    • 在清潔真空中
      工作數(shù)千小時(shí)
    • 保證不會(huì)發(fā)生結(jié)構(gòu)
      安裝故障
  • 卓越的穩(wěn)定性
    • 精密加工的碳素安裝
    • 高耐過溫性
  • 高亮度/低能量擴(kuò)散
    • <100> 定向單晶
    • 最佳質(zhì)量 / 高純度材料
    • 發(fā)射電流密度高達(dá) 30 A/cm2
    • 工作壓力 < 10-7托
  • 精確的 Microflats
    • 卓越的光學(xué)元件
    • 受控的源大小
    • 提供標(biāo)準(zhǔn)直徑
    • 發(fā)射表面尺寸范圍
    • 提供定制尺寸
  • 在 AEI 底座上，緊湊型 CB-104 底座或要求定制安裝

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