Kimball Physics 提供的離子槍(或稱離子源)廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:
電荷中和(Charge Neutralization)
二次離子質(zhì)譜(SIMS)
⚙️ 工作范圍(Range of Operation)
能量范圍:10 eV ~ 20 keV
束流范圍:1 nA ~ 2 μA
束斑尺寸:500 μm ~ 25 mm
🔄 多功能性(Versatility)
靈活控制器:通過光纖獨(dú)立控制和測(cè)量多個(gè)功能,包括:
離子能量
離子源功率
電子能量
場(chǎng)控(Field Control)
束流提取(Extract)
聚焦控制(Focus)
X-Y 偏轉(zhuǎn)與掃描(Deflection / Rastering)
電子電流控制等
📈 性能表現(xiàn)(Performance)
束流穩(wěn)定性:
使用 ECC(發(fā)射電流控制)時(shí):±1.0% / 小時(shí)
不使用 ECC 的堿金屬源:±10% / 小時(shí)(預(yù)熱后)
能量穩(wěn)定性:
±0.01% / 小時(shí)
±0.02% / 8 小時(shí)(滿功率輸出下)