EGL-2022 / EGPS-2022

能量范圍：?50 eV 至 5k eV
光束電流：?1 nA 至 100 μA
光斑尺寸：?1 mm 至 10 mm
安裝：?2?CF
特性/選項：用于能量掃描、偏轉、光柵化、高速脈沖的變焦鏡頭聚焦