美國 Kimball Physics 電子槍 電子束發(fā)生系統(tǒng) EGH-6002 / EGPS-6002

描述：
可聚焦的小光斑尺寸高能電子束
1keV至50keV

應用：
普通真空物理學
輻射研究
地面轟炸
半導體研究
生物樣本輻照
X射線生成
等離子體激發(fā)
熒光研究
表面物理研究

功能/選項：
中等束流
小光斑尺寸
靜磁聚焦
靜磁偏轉(zhuǎn)
磁性透鏡
脈沖能力
操作時內(nèi)部對齊
用戶可更換的射擊裝置
5英寸或6.0英寸CF安裝
特高壓技術(shù)/可烘烤
計算機/遠程控制

能量范圍：1keV至50keV
束流：10 nA至100μA
光斑尺寸：0.5毫米至100毫米
安裝：4.5英寸CF或6.0英寸CF

Kimball Physics EGH-6002電子槍及其配套的EGPS-6002電源是一個完整的子系統(tǒng)，可以連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內(nèi)輸送電子。EGH-6002可用于從半導體研究到二次電子發(fā)射研究的許多不同應用。
該槍可以產(chǎn)生高能、可聚焦、小點的電子束。束能量和束電流都可以在寬范圍內(nèi)獨立調(diào)節(jié)；1keV至50keV的能量和10nA至100μA的電流是標準的。電子束可以通過控制柵極的輸入信號進行脈沖。

槍的可調(diào)光學元件可以適應不同的發(fā)散和不同的工作距離。光斑尺寸可以從0.5毫米到10厘米不等。磁聚焦透鏡和磁定心偏轉(zhuǎn)提供了低像差的光束控制。此外，陰極到陽極的間距可以在內(nèi)部調(diào)節(jié)，以改變導電性。
該槍具有可調(diào)節(jié)的陰極饋通組件，允許點火單元相對于陽極和柱進行機械對準。這種對準可以在槍在全電壓下打開光束的情況下實時完成。發(fā)射單元的彈藥筒（包括陰極、陰極安裝架和文納爾孔徑）是用戶可更換的，甚至無需從真空室中取出槍。用過的點火裝置可以退回工廠進行重建。