美國(guó) Kimball Physics 電子槍 電子束發(fā)生系統(tǒng) EMG-4193 EGPS-4190 COPS-4190

描述：
中等能量、小光斑尺寸的電子束
1keV至30keV

應(yīng)用：
表面物理學(xué)
真空物理實(shí)驗(yàn)

功能/選項(xiàng)：
新型模塊化設(shè)計(jì)
照片發(fā)射選項(xiàng)
運(yùn)行中的內(nèi)部對(duì)齊
靜電聚焦
四極桿對(duì)齊
八極偏轉(zhuǎn)/光柵/消像散器
光束消隱
內(nèi)聯(lián)法拉第杯
內(nèi)部磁屏蔽
差動(dòng)泵
小斑點(diǎn)低至25μm
束流1 nA至10 uA
特高壓兼容/可烘烤
計(jì)算機(jī)/遠(yuǎn)程控制
用戶可更換的發(fā)射裝置

能量范圍：1keV至30keV
束流：1 nA至10μA
光斑尺寸：25μm至500μm
安裝：4.5英寸（4?英寸）CF

EMG-4193電子槍配有匹配的EGPS-4190電源和COPS-4190柱光學(xué)單元，是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，可以連接到用戶的真空系統(tǒng)。通過(guò)系統(tǒng)獨(dú)特的視口聚焦用戶提供的電磁輻射源，可以實(shí)現(xiàn)可選的光發(fā)射。EMG-4193可以輸送能量為1keV至30keV、電流為1nA至10μA的電子。該槍使用（LaB6）陰極提供低至25μm的小點(diǎn)，壽命可達(dá)數(shù)千小時(shí)。還可以對(duì)光束進(jìn)行光柵化，以對(duì)目標(biāo)進(jìn)行成像。應(yīng)用包括表面物理和真空物理實(shí)驗(yàn)。

該槍的可調(diào)光學(xué)元件包括兩個(gè)聚焦透鏡以及三個(gè)四極桿對(duì)準(zhǔn)和兩個(gè)八極偏轉(zhuǎn)元件。該槍還具有可調(diào)節(jié)的饋通組件，允許在槍運(yùn)行時(shí)對(duì)發(fā)射單元進(jìn)行機(jī)械對(duì)準(zhǔn)。
該槍有一個(gè)消隱元件，可以將電子束轉(zhuǎn)移到一個(gè)直列法拉第杯中。該系統(tǒng)用于測(cè)量柱中的束流。消隱器提供了一種在槍運(yùn)行時(shí)切斷光束的方法，也可用于脈沖。