美國Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),中等能量（最大 30 keV),EGL-2022 / EGPS-2022

美國Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),中等能量（最大 30 keV),EGL-2022 / EGPS-2022

Kimball Physics 是電子槍（束）系統(tǒng)的領(lǐng)先供應(yīng)商，其設(shè)計(jì)適用于各種超高真空 （UHV） 表面物理、空間物理和加工應(yīng)用。噴槍可以聚焦小光斑尺寸，用于 X 射線生產(chǎn)、焊接和 RHED 等應(yīng)用;或用于泛光束，用于電荷中和、電子束擦洗、空間模擬和輻射損傷研究。

操作范圍

  • 能量范圍：1 eV 至 100 keV
  • 光束電流范圍：1 nA 至 20 mA
  • 光斑尺寸范圍：15 μm（聚焦柱）至 500+ mm（泛光光束）

性能

  • 束流穩(wěn)定性：反饋穩(wěn)定發(fā)射電流控制;優(yōu)于每小時(shí) ± 0.1%
  • 能量穩(wěn)定性：±每小時(shí) 0.01%，全輸出時(shí)每 8 小時(shí)± 0.02%，以最大限度地減少色差

方便

  • 客戶可更換的點(diǎn)火裝置
  • 全運(yùn)行期間的機(jī)械對(duì)中
  • 可存儲(chǔ)控件設(shè)置
  • 電腦遙控器/計(jì)量

運(yùn)營能力

描述

能量掃描：恒定束流和近似恒定光斑尺寸的電子束

50 eV 至 5 keV

應(yīng)用：

功能/選項(xiàng)：

  • 能量范圍廣
  • Constant Beam Current
  • 恒定光斑大小
  • 變焦鏡頭對(duì)焦
  • 高速脈沖
  • 偏轉(zhuǎn)、柵格化
  • 電腦 / 遙控器

能量范圍：50 eV 至 5 keV
光束電流：1 nA 至 100 μA
光斑尺寸：1 mm 至 10 mm
安裝：2.75“CF
特點(diǎn)/選項(xiàng)：用于能量掃描、偏轉(zhuǎn)、光柵、高速脈沖的變焦鏡頭聚焦

Kimball Physics EGL-2022 電子槍及其配套的 EGPS-2022 電源可應(yīng)用于各種表面物理、電離、電荷中和和其他真空物理研究。它是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，隨時(shí)可以連接到用戶的真空系統(tǒng)并啟動(dòng)。

光束能量、光束電流和光斑尺寸可在很寬的范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)。能量從 50 eV 到 5 keV 不等，束流從 1 nA 到 100 μA。通過使用多級(jí)和計(jì)算機(jī)設(shè)計(jì)的電子變焦鏡頭，在能量的兩個(gè)數(shù)量級(jí)變化上保持恒定的束流，光斑尺寸也大致恒定。電子槍使用單電位陰極產(chǎn)生低能量擴(kuò)散光束。

槍設(shè)計(jì)可以包括一個(gè)正偏置的加速度網(wǎng)格，以增強(qiáng)發(fā)射和準(zhǔn)直光束。通常對(duì)此網(wǎng)格單元施加負(fù)電位，以準(zhǔn)直光束、抑制發(fā)射并切斷光束。

全程采用 UHV 技術(shù)。該噴槍可以在 10 級(jí)真空中運(yùn)行-11torr 最多 10-5torr 用于標(biāo)準(zhǔn) Ta 盤陰極。電子槍可在 350°C 下工作，無需電纜。

通過打開上方“資源”選項(xiàng)卡中的詳細(xì) EGL-2022/EGPS-2022 PDF 規(guī)范文檔了解更多信息。


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