美國(guó)Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),低能耗（最大 5 keV),EFG-7 / EGPS-2017

美國(guó)Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),低能耗（最大 5 keV),EFG-7 / EGPS-2017

Kimball Physics?電子槍（束流）系統(tǒng)通常包括一個(gè)匹配的電源，以提供完整的子系統(tǒng)，該子系統(tǒng)可以連接到用戶的真空硬件并打開。

許多系統(tǒng)上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其寬范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)，并且可以使用可選的 Labview 進(jìn)行控制TM計(jì)算機(jī)接口。

我們的大多數(shù)系統(tǒng)在真空條件下都兼容 UHV（超高真空），最高可達(dá) 10-11托。

根據(jù)系統(tǒng)的不同，可以使用各種陰極選項(xiàng)，包括：

    1. 氧化鋇盤（BaO，低光，低能量擴(kuò)散，最小真空度 1×10-7托爾）
    2. 釔涂層銥片 （Y2O3銥，堅(jiān)固耐用，真空度高達(dá) 10-4Torr，可能在短暫的真空損失中幸存下來(lái)）
    3. 鉭盤陰極
    4. 單晶六硼化鑭?（LaB6， 小光斑， 高亮度， 最小真空度 1×10-7托爾）

Kimball Physics 的產(chǎn)品已經(jīng)發(fā)展成為范圍廣泛的電子束系統(tǒng)，我們將其武斷地描述為低能量（高達(dá) 5 keV）、中等能量（高達(dá) 30 keV）和高能量（高達(dá) 100 keV）系統(tǒng)。許多系統(tǒng)都是從定制項(xiàng)目中誕生的，這仍然是我們關(guān)注的很大一部分。

低能耗系統(tǒng)，能量范圍為 1 eV 至 5 keV，電流范圍為 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸為 0.5 mm 至 100 mm。

下表提供了電子槍系統(tǒng)規(guī)格以及每個(gè)低能電子槍系統(tǒng)的典型應(yīng)用和功能的比較。

?EFG-7 EGPS-2017描述

描述

聚焦或均勻的廣角低能電子束

50 eV 至 5 keV

應(yīng)用：

功能/選項(xiàng)：

  • 參數(shù)可控性廣
  • 泛光光束或窄角光束
  • 靜電聚焦
  • 偏轉(zhuǎn)、光柵、脈沖
  • 可拆卸噴槍
  • 電腦 / 遙控器

能量范圍：50 eV 至 5k eV
光束電流：1 nA 至 100 μA
光斑尺寸：1 mm 至 100 mm
安裝：2.75 英寸（23/4 英寸）CF，可拆卸選項(xiàng)
特點(diǎn)/選項(xiàng)：泛光光束或窄角光束、靜電聚焦、偏轉(zhuǎn)、光柵、脈沖

Kimball Physics EFG-7 電子槍及其匹配的 EGPS-2017 電源旨在用于各種超高真空 （UHV） 物理實(shí)驗(yàn)、表面物理實(shí)驗(yàn)和加工應(yīng)用。它是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，隨時(shí)可以連接和打開。光束能量、光束電流和光斑尺寸可在很寬的范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)。

EFG-7 電子槍使用難熔金屬陰極產(chǎn)生均勻的泛光光束。槍式設(shè)計(jì)允許產(chǎn)生低能量和極低電流的光束。5 keV 型 EFG-7 可產(chǎn)生 1 nA 至 100 μA 的束流和 50 eV 至 5 keV 的能量。

定心偏轉(zhuǎn)、光柵和脈沖均作為選項(xiàng)提供。由于該設(shè)計(jì)已優(yōu)化為泛洪槍，并使用圓柱形 4 極偏轉(zhuǎn)器，因此當(dāng)光束聚焦到一個(gè)小點(diǎn)時(shí)，偏轉(zhuǎn)像差可能會(huì)很嚴(yán)重。

全程采用 UHV 技術(shù)。該噴槍可以在 10 級(jí)真空中運(yùn)行-11torr 最多 10-5torr 用于標(biāo)準(zhǔn) Ta 盤陰極。電子槍可在去除電纜后烘烤至 350°C。


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