美國(guó)Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),高能量（最大 100 keV）,EGF-6104 / EGPS-6104

美國(guó)Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),高能量（最大 100 keV）,EGF-6104 / EGPS-6104

Kimball Physics?電子槍（束流）系統(tǒng)通常包括一個(gè)匹配的電源，以提供完整的子系統(tǒng)，該子系統(tǒng)可以連接到用戶的真空硬件并打開。

許多系統(tǒng)上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其寬范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)，并且可以使用可選的 Labview 進(jìn)行控制TM計(jì)算機(jī)接口。

我們的大多數(shù)系統(tǒng)在真空條件下都兼容 UHV（超高真空），最高可達(dá) 10-11托。根據(jù)系統(tǒng)的不同，可以使用各種陰極選項(xiàng)，包括：

    1. 氧化鋇盤（BaO，低光，低能量擴(kuò)散，最小真空度 1×10-7托爾）
    2. 釔涂層銥片 （Y2O3銥，堅(jiān)固耐用，真空度高達(dá) 10-4Torr，可能在短暫的真空損失中幸存下來(lái)）
    3. 鉭盤陰極
    4. 單晶六硼化鑭?（LaB6， 小光斑， 高亮度， 最小真空度 1×10-7托爾）

Kimball Physics 的產(chǎn)品已經(jīng)發(fā)展成為范圍廣泛的電子束系統(tǒng)，我們將其武斷地描述為低能量（高達(dá) 5 keV）、中等能量（高達(dá) 30 keV）和高能量（高達(dá) 100 keV）系統(tǒng)。許多系統(tǒng)都是從定制項(xiàng)目中誕生的，這仍然是我們關(guān)注的很大一部分。

高能系統(tǒng)，能量范圍為 1 keV 至 100 keV，電流范圍為 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸范圍為 50 微米至 500 mm。

下表提供了電子槍系統(tǒng)規(guī)格以及每個(gè)高能電子槍系統(tǒng)的典型應(yīng)用和功能的比較。

型號(hào) #： EGF-6104 EGPS-6104

描述

均勻密度泛光梁

1 keV 至 50 keV

應(yīng)用：

功能/選項(xiàng)：

  • 能量范圍：1 keV 至 50 keV
  • 光束電流達(dá) 200 μA
  • 高達(dá) 5 mA 的大電流選項(xiàng)
  • 廣角均勻光束
  • 發(fā)散控制
  • 可旋轉(zhuǎn) 2.75 英寸 CF 法蘭安裝
  • 法蘭多路復(fù)用器靈活性
  • 用戶可更換的點(diǎn)火裝置
  • 電腦 / 遙控器
  • 運(yùn)行時(shí)可調(diào)節(jié)光束對(duì)準(zhǔn)
  • 發(fā)散控制
  • 靜磁偏轉(zhuǎn)
  • 光束清洗
  • 自定義光圈
  • 雙網(wǎng)格脈沖

能量范圍：1 keV 至 50 keV
光束電流/光斑尺寸：
標(biāo)準(zhǔn)：10 nA 至 200 μA / 15 mm 至 50 mm
高電流：10 nA 至 5 mA / 15 mm 至 50 mm
安裝：2.75“ CF

Kimball Physics EGF-6104 電子槍及其配套的 EGPS-6104 電源旨在用于各種超高真空 （UHV） 充電研究、空間物理、真空物理、表面物理和核模擬應(yīng)用。在最小的空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)最大的靈活性;整個(gè)裝置通過(guò)一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的 2.75 英寸 CF 端口安裝。它是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，隨時(shí)可以連接和打開。

電子在負(fù)高電位下產(chǎn)生;因此，用戶的目標(biāo)被設(shè)置為地電位。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。該噴槍使用空間電荷受限的耐火金屬陰極來(lái)產(chǎn)生均勻的泛光光束，該設(shè)計(jì)允許產(chǎn)生低能量和極低電流的光束。光束發(fā)散度部分可通過(guò)電子控制，并且可以通過(guò)可選的孔徑進(jìn)行機(jī)械限制。標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)的光束電流為 200 μA。使用大電流選項(xiàng)，可以獲得高達(dá) 5 mA 的光束電流。EGF-6104 利用可選的 4 極磁偏轉(zhuǎn)來(lái)定位和提高束流均勻性。

 


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