美國Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),高能量（最大 100 keV）,EGH-6002 / EGPS-6002
Kimball Physics?電子槍（束流）系統(tǒng)通常包括一個(gè)匹配的電源，以提供完整的子系統(tǒng)，該子系統(tǒng)可以連接到用戶的真空硬件并打開。
許多系統(tǒng)上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其寬范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)，并且可以使用可選的 Labview 進(jìn)行控制TM計(jì)算機(jī)接口。
我們的大多數(shù)系統(tǒng)在真空條件下都兼容 UHV（超高真空），最高可達(dá) 10-11托。根據(jù)系統(tǒng)的不同，可以使用各種陰極選項(xiàng)，包括：
Kimball Physics 的產(chǎn)品已經(jīng)發(fā)展成為范圍廣泛的電子束系統(tǒng)，我們將其武斷地描述為低能量（高達(dá) 5 keV）、中等能量（高達(dá) 30 keV）和高能量（高達(dá) 100 keV）系統(tǒng)。許多系統(tǒng)都是從定制項(xiàng)目中誕生的，這仍然是我們關(guān)注的很大一部分。
高能系統(tǒng)，能量范圍為 1 keV 至 100 keV，電流范圍為 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸范圍為 50 微米至 500 mm。
下表提供了電子槍系統(tǒng)規(guī)格以及每個(gè)高能電子槍系統(tǒng)的典型應(yīng)用和功能的比較。
高能電子槍系統(tǒng) （< 100 keV）
描述
1 keV 至 50 keV
應(yīng)用：
- 一般真空物理學(xué)
- 輻射研究
- 地表轟炸
- 半導(dǎo)體研究
- 生物標(biāo)本照射
- X 射線生成
- 血漿激發(fā)
- 熒光研究
- 表面物理研究
功能/選項(xiàng)：
- 中等束流
- 光斑尺寸小
- 靜磁聚焦
- 靜磁偏轉(zhuǎn)
- 磁性透鏡
- 脈沖能力
- 運(yùn)行時(shí)的內(nèi)部對準(zhǔn)
- 用戶可更換的點(diǎn)火裝置
- 5 英寸或 6.0 英寸 CF 安裝
- UHV 技術(shù) / 可烘烤
- 電腦 / 遙控器
能量范圍：1 keV 至 50 keV
束流：10 nA 至 100 μA
光斑尺寸：0.5 mm 至 100 mm
安裝：4.5“ CF 或 6.0”CF
Kimball Physics EGH-6002 電子槍及其匹配的 EGPS-6002 電源是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，可連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內(nèi)傳遞電子。EGH-6002 可用于從半導(dǎo)體研究到二次電子發(fā)射研究的許多不同的應(yīng)用。
該槍可以產(chǎn)生高能、可聚焦的小光斑電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié);1 keV 至 50 keV 的能量和 10nA 至 100μA 的電流是標(biāo)準(zhǔn)配置。電子束可以通過控制網(wǎng)格的輸入信號進(jìn)行脈沖傳輸。
噴槍的可調(diào)節(jié)光學(xué)元件可以適應(yīng)不同的發(fā)散和不同的工作距離。光斑尺寸可以從 0.5 毫米到 10 厘米不等。磁性聚焦透鏡和磁定心偏轉(zhuǎn)提供低像差的光束控制。此外，陰極到陽極的間距可在內(nèi)部調(diào)節(jié)以改變磁長。
該噴槍具有可調(diào)節(jié)的陰極饋通組件，允許點(diǎn)火裝置相對于陽極和色譜柱進(jìn)行機(jī)械對準(zhǔn)。當(dāng)噴槍在全電壓下運(yùn)行并打開光束時(shí)，可以實(shí)時(shí)完成這種對準(zhǔn)。點(diǎn)火裝置彈藥筒（包括陰極、陰極支架和 Wehnelt 孔徑）可由用戶更換，甚至無需從真空室中取出噴槍。用過的點(diǎn)火裝置可以退回工廠進(jìn)行重建。
