EMG-4215 / EGPS-4215

能量范圍：?1 keV 至 30 keV
光束電流：?1 nA 至 5 mA
光斑尺寸：?0.5 mm 至 25 mm 準(zhǔn)直或泛光
安裝：?4?CF
特性/選項：操作時內(nèi)部光束對準(zhǔn)、準(zhǔn)直光束、靜電聚焦和偏轉(zhuǎn)、脈沖、消隱、光柵化