美國 Kimball Physics 電子槍 電子束發(fā)生系統(tǒng) EGH-8103 EGPS-8103

描述：
可聚焦高能電子束，光斑尺寸小至60μm
10keV至100keV

應(yīng)用：

普通真空物理學(xué)
輻射研究
地面轟炸
半導(dǎo)體研究
生物樣本輻照
X射線生成
等離子體激發(fā)
熒光研究
表面物理研究

功能/選項(xiàng)：
小斑點(diǎn)尺寸低至60μm
束電流高達(dá)1mA
靜磁聚焦
靜磁偏轉(zhuǎn)
磁性透鏡
脈沖能力
操作過程中的內(nèi)部對齊
用戶可更換的射擊裝置
計算機(jī)/遠(yuǎn)程控制
差動泵

能量范圍：10keV至100keV
束流/光斑尺寸：
標(biāo)準(zhǔn)：10 nA至100μA/標(biāo)準(zhǔn)：60μm至10 mm
大電流：10 nA至1 mA/大電流：500μm至10 mm
安裝：6.0英寸CF安裝

Kimball Physics EGH-8103電子槍及其配套的EGPS-8103電源是一個完整的子系統(tǒng)，可以連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內(nèi)輸送電子。EGH-8103在空間材料測試、輻射研究、半導(dǎo)體研究、x射線產(chǎn)生和等離子體激發(fā)方面有應(yīng)用。
該槍使用難熔金屬或六硼化鑭（LaB6）陰極來產(chǎn)生高能、可聚焦、小點(diǎn)的電子束。束能量和束電流都可以在寬范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)；能量從10keV到100keV，電流從10nA到1mA。電子束可以通過控制柵極的輸入信號進(jìn)行脈沖。

該槍具有可調(diào)節(jié)的陰極饋通組件，允許點(diǎn)火單元相對于陽極和柱進(jìn)行機(jī)械對準(zhǔn)。這種對準(zhǔn)可以在槍打開光束的情況下實(shí)時完成。
噴槍設(shè)計提供了源區(qū)的差動泵送，源室上有一個4.5英寸的CF法蘭，用于連接渦輪泵。電離計和其他選項(xiàng)有三個2.75英寸CF法蘭。噴槍通常安裝在6.0英寸CF法蘭上，插入長度為零，不延伸到真空室中。