Kimball 低能電子槍 EFG-7 / EGPS-2017電子槍系統(tǒng) 窄角或均勻廣角光束

應(yīng)用：

功能/選項(xiàng)：

  • 參數(shù)可控性廣
  • 泛光光束或窄角光束
  • 靜電聚焦
  • 偏轉(zhuǎn)、光柵、脈沖
  • 可拆卸噴槍
  • 電腦 / 遙控器

能量范圍：50 eV 至 5k eV
光束電流：1 nA 至 100 μA
光斑尺寸：1 mm 至 100 mm
安裝：2.75 英寸（23/4 英寸）CF，可拆卸選項(xiàng)
特點(diǎn)/選項(xiàng)：泛光光束或窄角光束、靜電聚焦、偏轉(zhuǎn)、光柵、脈沖

Kimball Physics EFG-7 電子槍及其匹配的 EGPS-2017 電源旨在用于各種超高真空 （UHV） 物理實(shí)驗(yàn)、表面物理實(shí)驗(yàn)和加工應(yīng)用。它是一個完整的子系統(tǒng)，隨時可以連接和打開。光束能量、光束電流和光斑尺寸可在很寬的范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)。

EFG-7 電子槍使用難熔金屬陰極產(chǎn)生均勻的泛光光束。槍式設(shè)計(jì)允許產(chǎn)生低能量和極低電流的光束。5 keV 型 EFG-7 可產(chǎn)生 1 nA 至 100 μA 的束流和 50 eV 至 5 keV 的能量。

定心偏轉(zhuǎn)、光柵和脈沖均作為選項(xiàng)提供。由于該設(shè)計(jì)已優(yōu)化為泛洪槍，并使用圓柱形 4 極偏轉(zhuǎn)器，因此當(dāng)光束聚焦到一個小點(diǎn)時，偏轉(zhuǎn)像差可能會很嚴(yán)重。

全程采用 UHV 技術(shù)。該噴槍可以在 10 級真空中運(yùn)行-11torr 最多 10-5torr 用于標(biāo)準(zhǔn) Ta 盤陰極。電子槍可在去除電纜后烘烤至 350°C。


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