美國LK Technology,用于表面科學(xué)的 UHV 系統(tǒng)

除了表面分析組件外,LK Technologies 還專門設(shè)計(jì)和制造完整的 UHV 系統(tǒng),這些系統(tǒng)通常結(jié)合了 LK 組件和其他制造商的多種表面分析方法。

這些系統(tǒng)的常見元件是精密 UHV 腔室、主泵(通常是離子泵)、輔助泵(通常是渦輪分子泵)、精密樣品縱器、安裝框架和真空測量??蛻敉ǔR蟮目蛇x組件是快速進(jìn)樣系統(tǒng)(加載鎖定)和烘烤控制。

多探針分析系統(tǒng)由帶 X 射線單色儀的 XPS 分析、半球分析儀、AES、ISS、多通道 HREELS 和帶有快速樣品加載系統(tǒng)的完整樣品制備室組成。

產(chǎn)品-表面-科學(xué)-1

緊湊型 LEED/AES 系統(tǒng),配備 RVL 2000 型 LEED、MINICMA™ 分析儀、NGI3000離子槍和進(jìn)樣系統(tǒng)。

產(chǎn)品-表面-科學(xué)-2

EA5000MCA 型是我們的新型多功能高分辨率分析儀,可在保持高能量分辨率的同時(shí)實(shí)現(xiàn)極快速的數(shù)據(jù)恢復(fù)。此處顯示的分析儀已集成到一個(gè)完整的多通道 HREELS 系統(tǒng)中,該系統(tǒng)具有樣品表征和加載系統(tǒng)。

產(chǎn)品-表面-科學(xué)-3

用于材料分析的熱脫附 TDS1000 系統(tǒng)具有靈活的設(shè)計(jì)平臺,允許使用其他技術(shù),如 LEED、AES 和離子濺射。

產(chǎn)品-TDS1000

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