除了提供先進的表面分析部件外，LK Technologies 還專注于完整超高真空（UHV）系統(tǒng)的設計與制造，這些系統(tǒng)通常將 LK 自主研發(fā)的表面分析模塊與其他品牌的儀器集成在一起，支持多種分析方法的聯(lián)用。

🧩 系統(tǒng)標準配置包括：

• 精密 UHV 腔體（定制）

• 主泵（通常為離子泵）

• 輔助泵（通常為渦輪分子泵）

• 精密樣品操作平臺（Manipulator）

• 安裝框架結(jié)構(gòu)

• 真空測量模塊（壓力計、熱偶規(guī)等）

⚙️ 常見客戶選配件：

• 快速樣品引入系統(tǒng)（Load Lock）

• 烘烤控制系統(tǒng)（Bake-Out Controller）

以下展示的是部分已在全球?qū)嶒炇页晒桓妒褂玫南到y(tǒng)示例：

✅ 應用案例

1️⃣ 多探頭分析系統(tǒng)

搭載以下模塊：

• XPS 分析系統(tǒng)（配 X 射線單色器）

• 半球形能量分析儀

• AES（俄歇電子能譜）

• ISS（離子散射譜）

• 多通道高分辨電子能量損失譜（HREELS）

• 完整的樣品制備腔體

• 快速樣品加載裝置

2️⃣ 緊湊型 LEED/AES 分析系統(tǒng)

配置包括：

• RVL 2000 LEED 衍射儀

• MINICMA™ 微型俄歇分析儀

• NGI3000 離子槍

• 樣品加載系統(tǒng)

3️⃣ HREELS 多通道系統(tǒng)

EA5000MCA 高分辨能量分析儀，具備：

• 極快數(shù)據(jù)采集能力

• 保持高能量分辨率的同時實現(xiàn)多通道并行分析

• 配備完整樣品表征和加載系統(tǒng)

4️⃣ TDS1000 熱脫附系統(tǒng)

• 支持材料分析的模塊化平臺

• 可靈活擴展至 LEED 衍射、AES、離子刻蝕等技術