LK-Technologies強(qiáng)大，流行的離子源設(shè)計(jì)用于通過離子濺射清潔表面，光束能量高達(dá)3 keV，典型離子電流高達(dá)30μA。該噴槍采用了一種新穎的氣體噴射系統(tǒng)，該系統(tǒng)允許在典型的1×10?^-6托的腔室壓力下進(jìn)行濺射。

• 專利的氣體注入系統(tǒng)避免了昂貴的差動(dòng)泵送設(shè)備
• 低室壓下的惰性氣體濺射
• 寬離子束確保均勻?yàn)R射
• 與普通濺射清潔和ISS應(yīng)用兼容
• 連續(xù)可調(diào)諧的電壓從200 V到3 kV
• 帶USB或以太網(wǎng)接口的數(shù)字控制電子設(shè)備