TDS1000 溫度程序脫附系統(tǒng) 溫度程序脫附質(zhì)譜 屏蔽式質(zhì)譜探頭 催化劑研究、半導(dǎo)體表面反應(yīng)分析、氣體吸附行為

推動溫度程序脫附(TPD/TDS)研究的科學(xué)進展

TDS1000 是一套高度集成的表面科學(xué)研究工具系統(tǒng),可用于定量分析材料在加熱過程中脫附出的化學(xué)物種。
該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于催化劑研究半導(dǎo)體表面反應(yīng)分析、氣體吸附行為等領(lǐng)域。


🔬 系統(tǒng)核心功能:

通過 溫度程序脫附質(zhì)譜(TDS)探針 檢測從樣品表面脫附的質(zhì)量信號,配合專用屏蔽質(zhì)譜儀和控制軟件,可獲得高靈敏度的質(zhì)量信號-溫度曲線數(shù)據(jù)


📊 典型工作參數(shù):

  • 溫度范圍:室溫至 900?°C

  • 質(zhì)量范圍:1–200?AMU(原子質(zhì)量單位)


🧩 系統(tǒng)組成與技術(shù)規(guī)格:

LK1000 屏蔽質(zhì)譜探頭
  1. 屏蔽式質(zhì)譜探頭(標準質(zhì)量范圍 1–200 AMU)

  2. 熱脫附腔體(帶離子規(guī))

  3. 250 L/s 渦輪分子泵(配干式前級泵)

  4. 鈦升華泵(帶環(huán)境屏蔽罩)

  5. XYZR 精密樣品操作平臺(XYZ + 旋轉(zhuǎn))

  6. 可轉(zhuǎn)移樣品托架及加熱器

    • 支持最大樣品尺寸:1.00 x 1.00 英寸

  7. 雙熱電偶配置

    • 實時精確測量樣品溫度

  8. 負載鎖及樣品轉(zhuǎn)移系統(tǒng)

    • 配套 70 L/s 渦輪分子泵

  9. 三通道氣體歧管系統(tǒng)

    • 含機械泵、真空規(guī)、微調(diào)泄漏閥

  10. 校準模塊

    • 支持最多三種氣體的泄漏控制校準

  11. 整套系統(tǒng)集成:

    • 烘烤系統(tǒng)

    • 不銹鋼支架

    • 電子控制機柜

    • 安全聯(lián)鎖系統(tǒng)

  12. 溫控與數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)

    • 實現(xiàn)質(zhì)譜信號-溫度-時間的集成輸出


該系統(tǒng)為表面科學(xué)研究人員提供了高度可靠、精密可控的實驗平臺,特別適用于脫附動力學(xué)、分子吸附、材料潔凈度等分析任務(wù)。

🔧 LK TDS1000 系統(tǒng)的重要特點

  1. 靈活的擴展能力
    LK 系統(tǒng)具有高度的可擴展性,可集成多種其他表面分析技術(shù),例如:

  2. 高靈敏度的屏蔽質(zhì)譜探頭
    專為檢測從樣品表面脫附的分子而設(shè)計,具備出色的信號靈敏度。
    搭配 高精度 XYZR 樣品操作器,可將不同尺寸的樣品精確定位于探頭前方的最佳距離,有效抑制背景干擾信號。

  3. 快速抽空設(shè)計
    緊湊的腔體結(jié)構(gòu)與高效抽氣系統(tǒng)設(shè)計,使樣品加載后系統(tǒng)能快速抽空至 10?? 至 10?? Torr 的真空范圍。

  4. 獨特的 UHV 樣品托架設(shè)計

    • 樣品托架自帶加熱元件,支持安裝兩個熱電偶用于溫度監(jiān)控

    • 通過高精度機械連接,從 負載鎖系統(tǒng) 轉(zhuǎn)移至測量位

    • 熱電偶可直接安裝在樣品表面,無需依賴臺面溫度換算,即可準確獲取樣品表面真實溫度

    • 加熱過程可在任意角度或位置進行,無需紅外加熱光學(xué)系統(tǒng)支持,靈活性更高

  5. 便捷的氣體引入與校準系統(tǒng)

    • 支持引入 3 種或以上 的標定氣體,覆蓋所需的質(zhì)量范圍

    • 系統(tǒng)配備完整的 氣體歧管系統(tǒng),可引入其他感興趣氣體,滿足多種研究需求


該系統(tǒng)為從事表面反應(yīng)動力學(xué)、脫附行為、催化活性研究的科研人員提供了高度集成、靈敏度高且易擴展的理想平臺。

從TS1000LK技術(shù)的鋼樣品中進行氫氣脫附

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