晶圓預(yù)對準器
Logosol?久經(jīng)考驗的技術(shù)和高標(biāo)準的可靠性是業(yè)內(nèi)最廣泛的預(yù)對準器系列的基礎(chǔ)。Prealigners 產(chǎn)品系列支持處理 45 毫米至 480 毫米的物體，具有從不透明到完全透明的任何透明度級別。Logosol 獨特的一體化設(shè)計和多功能控制軟件實現(xiàn)了與各種半導(dǎo)體平臺的直接兼容性和接口。
自主設(shè)備，用于對45毫米至480毫米的對象進行高精度對準，包括正方形和雙層基板，具有單元處理多種尺寸對象而無需機械重新定位、夾具負載和銷負載模式以及高精度選項。
用于高速晶圓傳輸系統(tǒng)的成本效益的中心計算和角度定位設(shè)備，具有45毫米至480毫米對象的對準能力，并可輕松與市場上可用的任何機器人進行集成。提供高精度和夾具尺寸/材料選項。
