Logosol高精度LPA26-3 獨(dú)立預(yù)對(duì)準(zhǔn)器

Logosol 久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)和高標(biāo)準(zhǔn)的可靠性是業(yè)內(nèi)最廣泛的預(yù)對(duì)準(zhǔn)器系列的基礎(chǔ)。Prealigners 產(chǎn)品系列支持處理 45 毫米至 480 毫米的物體，具有從不透明到完全透明的任何透明度級(jí)別。Logosol 獨(dú)特的一體化設(shè)計(jì)和多功能控制軟件實(shí)現(xiàn)了與各種半導(dǎo)體平臺(tái)的直接兼容性和接口。

獨(dú)立
用于 45 毫米 – 480 毫米物體高精度對(duì)準(zhǔn)的自主設(shè)備，包括方形和雙層基板，無(wú)需機(jī)械重新定位即可單單元處理多種尺寸的物體，卡盤(pán)加載和銷(xiāo)釘加載模式，以及高精度選項(xiàng)。

嵌入式
用于高速晶圓傳輸系統(tǒng)的經(jīng)濟(jì)型中心計(jì)算和角度定向設(shè)備，具有對(duì) 45 毫米 – 480 毫米物體的對(duì)準(zhǔn)能力，可與任何市售機(jī)器人輕松集成。提供高精度和卡盤(pán)尺寸/材料選項(xiàng)。

邊緣處理
創(chuàng)新的自主設(shè)備，采用零抓取力的無(wú)源邊緣接觸，這是 Logosol 邊緣抓取預(yù)對(duì)準(zhǔn)技術(shù)的替代方案，可確保無(wú)晶圓應(yīng)力和最大的清潔度，用于處理 75 毫米 – 300 毫米的物體。標(biāo)準(zhǔn)和高精度型號(hào)。

快速交換
高通量預(yù)對(duì)準(zhǔn)器具有基于專(zhuān)有設(shè)計(jì)的快速交換功能，允許晶圓卡盤(pán)負(fù)載低于引腳水平。

Logosol 廣泛的預(yù)對(duì)準(zhǔn)器產(chǎn)品系列的基礎(chǔ)是我們內(nèi)部設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)的技術(shù)，從硅和機(jī)械設(shè)計(jì)到運(yùn)動(dòng)控制和軟件。這種垂直整合，加上我們 30 年來(lái)為各種應(yīng)用開(kāi)發(fā)眾多預(yù)對(duì)準(zhǔn)器的經(jīng)驗(yàn)，使我們能夠?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)型號(hào)無(wú)法滿(mǎn)足其規(guī)格的客戶(hù)提供解決方案。