美國(guó)Logosol LPA68EH-3 邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)儀 LPA68EH-3-REHV1-S38-B-R900V-LH58

創(chuàng)新的自主設(shè)備，采用零抓取力的無(wú)源邊緣接觸，這是 Logosol 邊緣抓取預(yù)對(duì)準(zhǔn)技術(shù)的替代方案，可確保無(wú)晶圓應(yīng)力和最大的清潔度，用于處理 75 毫米 – 300 毫米的物體。標(biāo)準(zhǔn)和高精度型號(hào)。

LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE
用于150毫米晶圓的減少接觸邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器
對(duì)準(zhǔn)能力:標(biāo)準(zhǔn)150毫米晶圓150毫米平面、透明和半透明基板
接觸區(qū):邊緣接觸，點(diǎn)寬1毫米
減少接觸邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器可以容忍交付晶圓的較大初始偏移(高達(dá)6毫米)