美國LOGOSOL LPA812-3-V40P1-S23-B-V500晶圓預(yù)對準(zhǔn)器,尋邊臺

LOGOSOL LPA812-3-V40P1-S23-B-V500特點(diǎn)：

→ 創(chuàng)新的一體化設(shè)計(jì)，無需外部控制器和連接線纜，同時(shí)保持即插即用兼容性。

→ 采用超低慣量無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，響應(yīng)快速平穩(wěn)。

→ 先進(jìn)的掃描電子元件可檢測透明、半透明及不透明物體，無需根據(jù)不同晶圓尺寸機(jī)械調(diào)整位置。

→ 運(yùn)動(dòng)控制軟件集成多種常用指令，兼容多種半導(dǎo)體平臺接口。

→ 典型對準(zhǔn)周期低于4秒，助力實(shí)現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量。

LOGOSOL LPA812-3-V40P1-S23-B-V500晶圓預(yù)對準(zhǔn)器尺寸：

LOGOSOL LPA812-3-V40P1-S23-B-V500晶圓預(yù)對準(zhǔn)器規(guī)格：