美國(guó),Logosol,LPA26-3,獨(dú)立式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器，創(chuàng)新的高性能一體化設(shè)計(jì)，消除了外部控制器和連接電纜，同時(shí)保持了與現(xiàn)有系統(tǒng)的兼容性。采用超低慣性無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)、即時(shí)的響應(yīng)。
先進(jìn)的掃描電子技術(shù)能夠在不同晶圓尺寸之間無(wú)需機(jī)械重新定位，檢測(cè)透明、半透明和不透明物體。運(yùn)動(dòng)控制軟件具有一整套常用命令，支持與多種半導(dǎo)體平臺(tái)的兼容和接口。
典型對(duì)準(zhǔn)周期時(shí)間少于四秒，有助于實(shí)現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量。

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