Logosol的經(jīng)過時間考驗的技術(shù)和高可靠性標(biāo)準(zhǔn)是行業(yè)中最廣泛的預(yù)對準(zhǔn)器系列的基礎(chǔ)。預(yù)對準(zhǔn)器產(chǎn)品系列支持處理從45毫米到480毫米的對象，具有任何透明度水平，從不透明到完全透明。Logosol獨特的一體化設(shè)計和多功能控制軟件使其能夠與各種半導(dǎo)體平臺實現(xiàn)即插即用的兼容性和接口。
自主設(shè)備，用于對45毫米至480毫米的對象進行高精度對準(zhǔn)，包括正方形和雙層基板，具有單元處理多種尺寸對象而無需機械重新定位、夾具負(fù)載和銷負(fù)載模式以及高精度選項。
用于高速晶圓傳輸系統(tǒng)的成本效益的中心計算和角度定位設(shè)備，具有45毫米至480毫米對象的對準(zhǔn)能力，并可輕松與市場上可用的任何機器人進行集成。提供高精度和夾具尺寸/材料選項。
創(chuàng)新的自主設(shè)備，采用零夾持力的被動邊緣接觸技術(shù)，是Logosol邊緣夾持預(yù)對準(zhǔn)器技術(shù)的替代方案，確保在處理75毫米至300毫米對象時，晶圓不受應(yīng)力影響，保持最大的清潔度。提供標(biāo)準(zhǔn)和高精度型號。
高吞吐量的預(yù)對準(zhǔn)器，具有基于專有設(shè)計的快速更換功能，允許在銷針?biāo)揭韵逻M行晶圓夾具裝載。
Logosol廣泛的預(yù)對準(zhǔn)器產(chǎn)品系列的基礎(chǔ)是一項我們在內(nèi)部設(shè)計和開發(fā)的技術(shù)，涵蓋了從硅制品和機械設(shè)計到運動控制和軟件的各個方面。這種垂直整合，加上我們30年來為各種應(yīng)用開發(fā)了大量預(yù)對準(zhǔn)器的經(jīng)驗，使我們能夠為那些標(biāo)準(zhǔn)型號無法滿足其規(guī)格要求的客戶提供解決方案。
訂單指南
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