美國,Logosol,Diamond H5,真空晶圓處理機器人

美國,Logosol,Diamond H5,真空晶圓處理機器人,Diamond H5 系列真空機器人在晶圓處理設(shè)備的設(shè)計和可靠性方面代表了顯著的工程進步。

美國,Logosol,Diamond H5,真空晶圓處理機器人特征：
憑借技術(shù)優(yōu)越的組件，機器人采用超低慣性、高響應(yīng)的無刷伺服電機，配合零背隙的哈莫尼驅(qū)動?齒輪，極大地提高了靈活性和精度。
創(chuàng)新的全合一設(shè)計將運動控制器、伺服放大器和電源集成在機器人行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的占地面積內(nèi)。
高強度結(jié)構(gòu)件使得機器人可以安裝在法蘭的頂部或底部表面，而不會影響系統(tǒng)的剛性。
支持網(wǎng)絡(luò)連接的RS-485和以太網(wǎng)接口，補充了標(biāo)準(zhǔn)的RS-232接口和教學(xué)掛件連接。
強大的本地晶圓處理和腳本語言有助于快速開發(fā)軟件，將機器人嵌入到OEM應(yīng)用環(huán)境中。
全面模擬傳統(tǒng)機器人“宏”命令，實現(xiàn)與各種現(xiàn)有半導(dǎo)體工具的即插即用兼容。
模塊化和高度可定制化設(shè)計
完全集成的運動控制器、伺服放大器和電源
高響應(yīng)無刷電機和精確的零背隙哈莫尼驅(qū)動?齒輪
標(biāo)準(zhǔn)的RS-232接口和以太網(wǎng)（Telnet）接口與主機計算機連接
先進的32位實時運動控制內(nèi)核
強大的晶圓處理固件
全面的軟件工具和實用程序
傳統(tǒng)機器人宏命令的模擬軟件
可選教學(xué)掛件終端
通用數(shù)字輸入輸出端口供定制使用
可靠性——平均故障間隔時間（MTBF）> 60,000小時

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美國,Logosol,Diamond H5,真空晶圓處理機器人尺寸和運動范圍：

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