Logosol,高升降行程機(jī)器人,diamond H3,晶圓機(jī)器人,晶圓機(jī)械手,Diamond H3 系列大氣機(jī)器人代表了晶圓處理設(shè)備設(shè)計(jì)和可靠性方面的重大工程進(jìn)步。 得益于技術(shù)上更為先進(jìn)的組件，這些機(jī)器人采用超低慣性、高響應(yīng)的無刷伺服電機(jī)，并配合零回程的 Harmonic Drive? 齒輪，以實(shí)現(xiàn)顯著增強(qiáng)的靈活性和精度。

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