Logosol,晶圓對準器,LPA812-3,預(yù)對準器,創(chuàng)新的高性能一體化設(shè)計，消除了外部控制器和互連電纜，同時保持即插即用的兼容性。采用超低慣量無刷電機驅(qū)動，實現(xiàn)平穩(wěn)、瞬時響應(yīng)。
先進的掃描電子技術(shù)能夠檢測透明、半透明和不透明的物體，無需在不同晶圓尺寸之間進行機械重新定位。
運動控制軟件具有一套全面的常用命令，確保與各種半導體平臺的兼容性和接口。
典型的對準周期時間少于四秒，有助于實現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量。

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