Logosol預(yù)對(duì)準(zhǔn)器LPA12ET-3-RETV1-S38-S-R880V,300mm晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器,logosol晶圓尋邊臺(tái),logosol aligner,logosol晶圓機(jī)械手
運(yùn)動(dòng)中的可靠性
Logosol預(yù)對(duì)準(zhǔn)器LPA12ET-3-RETV1-S38-S-R880V描述：
300mm晶圓獨(dú)立式邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器
LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-(C)
適用于300mm晶圓的邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器
對(duì)準(zhǔn)能力：標(biāo)準(zhǔn)300mm晶圓
300mm TAIKO晶圓
接觸區(qū)域：邊緣接觸，接觸點(diǎn)寬度1mm
銷(xiāo)釘配置：
標(biāo)準(zhǔn)配置：為晶圓提供最均勻的支撐
C（交叉）配置：為更厚末端執(zhí)行器提供空間，并可從三側(cè)平等接觸
兩種配置相比前代邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器，可容忍更大的晶圓初始偏移（最大6mm）
Logosol預(yù)對(duì)準(zhǔn)器LPA12ET-3-RETV1-S38-S-R880V規(guī)格：
基板類(lèi)型：300mm晶圓、300mm TAIKO晶圓
晶圓透光性：透明、半透明、不透明
方形基板：不適用
基板處理方式：邊緣接觸式
對(duì)心精度（3 Sigma）：±35μm
角度精度（3 Sigma）：10000 CPR編碼器：±0.07°
24000 CPR編碼器：±0.04°
電機(jī)軸數(shù)：3軸
主機(jī)通信接口：RS232、以太網(wǎng)
最大初始偏移量：6mm
機(jī)身尺寸（寬×長(zhǎng)×高）：309mm × 368mm × 206mm
重量：6.40kg
電源要求：100-240VAC，50/60Hz，48VA，或24VDC/2A
平邊/凹槽兼容性：晶圓凹槽、平邊，符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)
潔凈等級(jí)：Class 1
平均無(wú)故障時(shí)間（MTBF）：超過(guò)70000小時(shí)
Logosol預(yù)對(duì)準(zhǔn)器LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE?尺寸：
單位inch/mm
Logosol預(yù)對(duì)準(zhǔn)器PA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-C?尺寸：
單位inch/mm
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