Logosol,LPA8EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE,獨(dú)立邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器,獨(dú)立邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器，適用于200mm晶圓,減小接觸的邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器，適用于200mm晶圓
對(duì)準(zhǔn)能力：標(biāo)準(zhǔn)200mm晶圓，200mm平晶圓，透明及半透明基板
接觸區(qū)：邊緣接觸，接觸寬度為1mm
減小接觸的邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器能夠容忍更大的初始偏移量（最多可達(dá)6mm）。

美國(guó),Logosol,LPA8EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE,獨(dú)立邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器規(guī)格：

美國(guó),Logosol,LPA8EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE,獨(dú)立邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器尺寸：

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