Logosol,LPA312-3-V40P1-S23-B-V500P預(yù)對準(zhǔn)器特征：
-創(chuàng)新型高性能一體化設(shè)計，無需外部控制器和連接線纜，同時保持可直接替換的兼容性
-采用超低慣量無刷電機(jī)驅(qū)動，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)、即時響應(yīng)
-先進(jìn)的掃描電子系統(tǒng)，無需機(jī)械調(diào)整即可檢測透明、半透明和不透明的物體，適用于不同尺寸晶圓
-運(yùn)動控制軟件支持常用指令集，便于與多種半導(dǎo)體平臺兼容與對接
-典型對準(zhǔn)周期小于 4 秒，有助于實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的最大吞吐量
Logosol,LPA312-3-V40P1-S23-B-V500P預(yù)對準(zhǔn)器規(guī)格：
晶圓直徑：3”, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm, 300mm
晶圓不透明度：透明，半透明，不透明
方形基片：適用
晶圓搬運(yùn)：真空卡盤和銷釘
居中精度：±25um 在預(yù)對準(zhǔn)器吸盤上
角度精度 (3 Sigma)：
10000 CPR 編碼器? ：±0.04° 在預(yù)對準(zhǔn)器吸盤上
24000 CPR 編碼器 ：±0.02° 在預(yù)對準(zhǔn)器吸盤上
伺服軸：3
主機(jī)通信：RS232, 以太網(wǎng)
最大初始晶圓偏移：12mm
外形尺寸（寬 × 長 × 高）：173mm x 317mm x 190mm
占地兼容性：LPA812-3, LPA1218-3 LPA8ET-3, LPA12ET-3
重量：5.50kg
所需設(shè)施：100-240VAC, 50/60Hz, 48VA, or 24VDC/2A Vacuum 12″ Hg
切邊/缺口兼容性：符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)
潔凈度：Class 1
平均無故障時間MTBF：超過 70000小時
Logosol,LPA312-3-V40P1-S23-B-V500P預(yù)對準(zhǔn)器一般尺寸規(guī)格：
