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Logosol,預(yù)對(duì)準(zhǔn)器,LPA,獨(dú)立式,嵌入式,邊緣處理,快速更換,Logosol的經(jīng)過(guò)時(shí)間考驗(yàn)的技術(shù)和高可靠性標(biāo)準(zhǔn)是行業(yè)中最廣泛的預(yù)對(duì)準(zhǔn)器系列的基礎(chǔ)。預(yù)對(duì)準(zhǔn)器產(chǎn)品系列支持處理從45毫米到480毫米的對(duì)象，具有任何透明度水平，從不透明到完全透明。Logosol獨(dú)特的一體化設(shè)計(jì)和多功能控制軟件使其能夠與各種半導(dǎo)體平臺(tái)實(shí)現(xiàn)即插即用的兼容性和接口。

獨(dú)立式

自主設(shè)備，用于對(duì)45毫米至480毫米的對(duì)象進(jìn)行高精度對(duì)準(zhǔn)，包括正方形和雙層基板，具有單元處理多種尺寸對(duì)象而無(wú)需機(jī)械重新定位、夾具負(fù)載和銷負(fù)載模式以及高精度選項(xiàng)。

嵌入式

用于高速晶圓傳輸系統(tǒng)的成本效益的中心計(jì)算和角度定位設(shè)備，具有45毫米至480毫米對(duì)象的對(duì)準(zhǔn)能力，并可輕松與市場(chǎng)上可用的任何機(jī)器人進(jìn)行集成。提供高精度和夾具尺寸/材料選項(xiàng)。

邊緣處理

創(chuàng)新的自主設(shè)備，采用零夾持力的被動(dòng)邊緣接觸技術(shù)，是Logosol邊緣夾持預(yù)對(duì)準(zhǔn)器技術(shù)的替代方案，確保在處理75毫米至300毫米對(duì)象時(shí)，晶圓不受應(yīng)力影響，保持最大的清潔度。提供標(biāo)準(zhǔn)和高精度型號(hào)。

快速更換

高吞吐量的預(yù)對(duì)準(zhǔn)器，具有基于專有設(shè)計(jì)的快速更換功能，允許在銷針?biāo)揭韵逻M(jìn)行晶圓夾具裝載。

定制

Logosol廣泛的預(yù)對(duì)準(zhǔn)器產(chǎn)品系列的基礎(chǔ)是一項(xiàng)我們?cè)趦?nèi)部設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)的技術(shù)，涵蓋了從硅制品和機(jī)械設(shè)計(jì)到運(yùn)動(dòng)控制和軟件的各個(gè)方面。這種垂直整合，加上我們30年來(lái)為各種應(yīng)用開(kāi)發(fā)了大量預(yù)對(duì)準(zhǔn)器的經(jīng)驗(yàn)，使我們能夠?yàn)槟切?biāo)準(zhǔn)型號(hào)無(wú)法滿足其規(guī)格要求的客戶提供解決方案。