美國McAllister ,電子束蒸發(fā)器源,一種與 UHV 兼容的離子源，用于金屬、某些半導體和絕緣體的受控沉積,幾乎適合任何現(xiàn)有的 UHV 暗室
靈活易用
這種緊湊的電子束蒸發(fā)器是一種與 UHV 兼容的離子源，用于金屬、某些半導體和絕緣體的受控沉積。由于其體積小和 23/4 英寸 （CF38） 法蘭安裝，它幾乎適合任何現(xiàn)有的 UHV 暗室。它易于使用和維護，包括水冷、一體式百葉窗、所有電氣和機械饋入裝置
坩堝或?qū)嵭陌?/h3>
通過對包含蒸發(fā)劑的耐火坩堝（各種材料可用）或高達 1000 VDC @ 125 mA（125 瓦）的實心棒/線進行電子轟擊來刺激蒸發(fā)。待蒸發(fā)的材料以易于更換的細絲為中心，該細絲在 0-12 安培時具有 0-12 伏特的無級可調(diào)功率。
用戶可以在不拆卸整個源的情況下補充蒸發(fā)的材料。包括一個線性驅(qū)動器，它相對于燈絲移動蒸發(fā)劑，為電子束提供焦點調(diào)整。控制單元前面板上的雙表通過雙表顯示燈絲電流和光束電流/電壓。有關(guān)更多信息，請參閱隨附的用戶手冊。
Flux Monitor
蒸發(fā)材料通量中的小電極收集部分電離環(huán)境中存在的離子。初始校準后，此功能可快速輕松地恢復到已知的沉積速率。
緊湊的尺寸
整個組件安裝在標準的 23/4“ CF 法蘭上，并將清除 11/2” 管的內(nèi)徑。水 I/O 連接、電源、熱電偶和波紋管密封百葉窗都位于方便的位置。細絲塊可以很容易地移除，以更換/更換蒸發(fā)材料。由于定制制造的成本通常不超過麥卡利斯特技術(shù)服務(wù)的標準產(chǎn)品，因此可以在訂購時指定法蘭到尖端的距離。
