Mcallister 探針臺用于在測試樣品的不同位置定位用于無損電氣測試的分析或測試探針的各種設備。 可用于半導體、材料科學、物理學、光學和MEMS的各種不同尺寸和類型。所有這些都是專門為最終用戶的獨特訪問、范圍、溫度和測試要求量身定制的。Mcallister 探針臺旨在展示MTS定制設計和制造車間的各種可能性。
Mcallister 探針臺適用不同樣品尺寸：
小樣本量–<1英寸（<25毫米）
該站基于約2.75英寸（CF40）法蘭，具有以下特點：
帶隔熱罩的加熱反應堆容器
等溫反應器體積
單獨的樣品加熱器
減少化學反應實驗的細胞體積
高精度微操作器<0.0005英寸（<12μ）
光學顯微鏡全尺寸觀察區(qū)
緊密耦合渦輪泵的緊湊設計
具有堅固的儀器支架和蓋子
中等樣本尺寸–2英寸（50毫米）
該站基于約8英寸（CF150）法蘭，具有以下特點：
雙壁水冷夾套
最多6個探頭操縱器
從特高壓到環(huán)境運行
在1個大氣壓下加熱至>900℃。氧氣
大觀察區(qū)域，便于顯微鏡觀察
防止輻射損失的百葉窗
隔振表
高精度微操作器<0.0001英寸（<2μ）
電動舞臺可用
LHe可冷卻至<18K
用于儀表、入口等的額外端口。
大樣本量–6英寸（150毫米）
所示為蓋子已拆下
完全訪問整個晶圓表面
±3英寸（±765毫米）XY行程
0.5英寸（12.5毫米）Z軸行程
計算機運動控制
冷卻至-40℃
48個儀器饋通
1000X三目顯微鏡（未顯示）
集成多電路探針卡安裝
單個真空兼容掃描探頭
真空度達到10-6torr
附加儀器端口
高精度定位器<0.0001〃（<2μ）
Mcallister 探針臺
