
探針臺(tái)
術(shù)語(yǔ)“探針臺(tái)”涵蓋了用于將分析探針或測(cè)試探針?lè)胖?a href="http://guanyatd.com/mcallister/tag/%e5%9c%a8%e6%b5%8b%e8%af%95%e6%a0%b7%e5%93%81%e4%b8%8a%e4%b8%8d%e5%90%8c%e4%bd%8d%e7%bd%ae%e8%bf%9b%e8%a1%8c%e6%97%a0%e6%8d%9f%e7%94%b5%e6%b0%94%e6%b5%8b%e8%af%95/" title="View all posts in 在測(cè)試樣品上不同位置進(jìn)行無(wú)損電氣測(cè)試" target="_blank">在測(cè)試樣品上不同位置進(jìn)行無(wú)損電氣測(cè)試的各種設(shè)備。此處的示例顯示了可用于半導(dǎo)體、材料科學(xué)、物理學(xué)、光學(xué)和 MEMS 的各種不同尺寸和類(lèi)型。所有產(chǎn)品都是專(zhuān)門(mén)為最終用戶(hù)的獨(dú)特訪問(wèn)、范圍、溫度和測(cè)試要求量身定制的。這些旨在展示 MTS 定制設(shè)計(jì)和制造車(chē)間的可能性范圍,該列表幾乎并不詳盡。請(qǐng)聯(lián)系我們討論您的特殊需求。
大樣品尺寸 – 6 英寸(150 毫米)
- 所示 蓋板已拆下
- 完全訪問(wèn)整個(gè)晶圓表面
- ±3 英寸(±765 毫米)XY 行程
- 0.5 英寸(12.5 毫米)Z 軸行程
- 計(jì)算機(jī)化運(yùn)動(dòng)控制
- 冷卻至 -40C
- 48 個(gè)儀表饋通
- 1000X 三目顯微鏡(未顯示)
- 集成多電路探針卡安裝
- 單獨(dú)的真空兼容掃描探頭
- 真空度可達(dá)?10-6?torr
- 其他儀表端口
- 高精度定位器 <0.0001“ (<2μ)