定制、多腔室、高精度沉積平臺，采用模塊化、用戶友好的系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法?，F(xiàn)場均勻腔室設(shè)計(jì)結(jié)合了PREVAC和其他制造商制造的各種典型或非標(biāo)準(zhǔn)組件，實(shí)現(xiàn)了高質(zhì)量的逐層涂層。
系統(tǒng)旨在與任何其他分析或沉積表面科學(xué)技術(shù)、輔助實(shí)驗(yàn)室設(shè)備和任何附件實(shí)現(xiàn)最大兼容性。使用徑向分配或隧道傳輸系統(tǒng)可以與其他真空室、模塊和單元集成。
模塊化、用戶友好的系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法意味著整個(gè)系統(tǒng)可以通過簡單地更換通用安裝法蘭進(jìn)行重新配置，這一過程既快速又簡單。
可以通過前門、自動提升的頂部法蘭或通過底部法蘭進(jìn)入工藝室，可使用專門設(shè)計(jì)的手推車進(jìn)行更換。因此，可以輕松快速地更換磁控管靶、基板支架操縱器或訪問/更換整個(gè)底部法蘭。頂部法蘭的提升機(jī)構(gòu)是電動的，并通過傳感器進(jìn)行充分保護(hù)。
該系統(tǒng)配置有適當(dāng)?shù)拿芊夂?a href="http://guanyatd.com/prevac/tag/%e6%b3%b5%e9%80%81%e7%b3%bb%e7%bb%9f/" title="View all posts in 泵送系統(tǒng)" target="_blank">泵送系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)10^-7毫巴（帶viton密封門）、5×10^-8毫巴（帶有viton密封和差動泵送門）或超高壓壓力（不帶門，帶快速進(jìn)入負(fù)載鎖用于襯底引入）范圍內(nèi)的基本真空。
工藝室配有不同尺寸的超高壓標(biāo)準(zhǔn)連接法蘭，用于連接當(dāng)前和未來的設(shè)備，包括：
磁控管源，
基板操縱器，
用于清潔、蝕刻或活化襯底表面的離子源，
泵送系統(tǒng)，
線性輸送系統(tǒng)、徑向分配室或輸送通道的入口，
氣體計(jì)量系統(tǒng)：工藝氣體最多4條管線，以及最多4種氣體的質(zhì)量流量控制，
殘余氣體分析儀，
石英天平，
高溫計(jì)，
帶檢測器的橢圓儀，
視口（帶百葉窗的觀察窗），
真空計(jì)
泵送系統(tǒng)是不同類型的泵的組合，例如前真空泵、離子泵、低溫泵、渦輪泵或鈦升華泵，根據(jù)具體應(yīng)用需求單獨(dú)選擇以實(shí)現(xiàn)最佳泵送性能。
Synthesis過程控制軟件允許各種類型和制造商的來源進(jìn)行集成和完美合作，并實(shí)現(xiàn)簡單的配方編寫、自動生長控制和廣泛的數(shù)據(jù)記錄。允許基于Tango開源設(shè)備集成新的附加組件。
該系統(tǒng)配備了先進(jìn)、易于使用的電源和電子設(shè)備，用于控制和支持電源和整個(gè)研究設(shè)備。
多室多技術(shù)沉積研究平臺，具有許多有用的配置和選項(xiàng)
非常適合沉積金屬和介電薄膜
根據(jù)來源的類型和數(shù)量，可提供不同尺寸的處理室：dst 450、dst 570和dst 715 mm（根據(jù)要求提供其他尺寸）
基本壓力范圍從10-7毫巴到超高壓
雙軸機(jī)械手，具有由固體SiC制成的穩(wěn)定、長壽命的加熱器元件和接收站，可實(shí)現(xiàn)高達(dá)1200°C的高溫
具有兩級接收站的機(jī)械手，用于基板支架，以滿足共焦和平面磁控管配置的要求
廣泛的基板支架尺寸（從10×10毫米到6英寸，其他可根據(jù)要求）和形狀
提供濺射向上和濺射向下布置
在直流、射頻和脈沖直流模式下運(yùn)行
單獨(dú)操作或以共沉積模式操作，以生產(chǎn)多種薄膜組合物
Ar氣體質(zhì)量流量控制自動加藥
現(xiàn)場表征工具的可能性，例如等離子體發(fā)射監(jiān)測器（PEM）、橢圓儀、反射儀、石英天平或高溫計(jì)溫度測量系統(tǒng)
由單個(gè)電源和開關(guān)網(wǎng)絡(luò)提供的多個(gè)源，或由用于共沉積處理的多個(gè)電源提供
前門通道和/或裝載鎖定室，可快速輕松地裝載基板
可以使用專用起重小車完全接近或更換帶源的底部法蘭
為擴(kuò)展準(zhǔn)備的模塊化框架
用于樣品制備的一系列解決方案，例如手套箱、樣品切割機(jī)或設(shè)計(jì)用于樣品加熱、冷卻、清潔等的設(shè)備齊全的制備室。
19“帶電子單元的機(jī)柜
專用人機(jī)界面（HMI）設(shè)備，硬件易于控制和監(jiān)控
Synthesis軟件可對沉積過程和設(shè)備進(jìn)行全面控制
