描述

專為 X 射線光電子能譜 (XPS) 設(shè)計(jì)的分析室，與用于薄膜
沉積的多室真空系統(tǒng)集成。

系統(tǒng)配置

• 帶有升華泵和可選 TMP 的 mu-metal 分析室
• 五軸機(jī)械手
• 探測(cè)器 XPS/UPS/ARPES
• 帶單色器的 X 射線源
• 紫外線源
• 電子源
• 離子源
• 映射
• 帶 TMP 泵送系統(tǒng)的分配室
• 負(fù)載鎖定室
• 儲(chǔ)藏室
• 烘烤系統(tǒng)
• 所有電子產(chǎn)品的機(jī)柜
• 軟件