先進(jìn)的 HPPES 系統(tǒng)

• 定制設(shè)計(jì)，旨在以下領(lǐng)域的研究：
  – XPS / UPS / ARPES / AES / EELS / ISS / IPES / LEIPS?技術(shù) |UHV 條件
  –?HPXPS / APXPS / APUPS?技術(shù) |環(huán)境壓力條件
• 實(shí)驗(yàn)程序的完全自動(dòng)化
• 回填配置
• 創(chuàng)新、多功能的氣體池
  
• 回填和氣室的混合解決方案
• 多功能性高 – 拆卸/更換?HP 細(xì)胞機(jī)械手、能量分析儀模塊或分析室模塊
  
• 高壓半球能量分析儀 EA15-HP50?及設(shè)備
• 高壓、高功率雙陽極?X 射線源，帶單色器?– AlKα & AgLα，帶電源
• 高壓、高功率雙陽極、非單色?X 射線源?– AlKα 和 MgKα，帶電源
• 帶電源的?UV 源
• 帶電源的泛洪源
• 用于深度剖析或清潔的離子源
• 電動(dòng)或手動(dòng)?4-6 軸機(jī)械手，帶有接收站，溫度LHe/LN 系列₂最高?1400°C
• 不同的樣品架尺寸：從 10×10 mm 到 1 英寸（可根據(jù)要求提供其他尺寸）
• 極限壓力降至 10^-10mbar，具體取決于泵的配置
• 泵送系統(tǒng)（基于備用泵，TMP和TSP帶有冷凍盾牌）
• 全自動(dòng)氣體加樣設(shè)置
• 帶設(shè)備的真空計(jì)
• 樣品架的?Load Lock 室
• 可靠、快速的線性傳輸系統(tǒng)，從負(fù)載鎖到分析室
• Viewports – 觀察窗口
• Bakeout 系統(tǒng)
• 系統(tǒng)的可調(diào)節(jié)剛性主機(jī)架
• 帶電子單元的 19 英寸機(jī)柜
• 由?Spectrium 軟件和?PLC 單元完全控制的分析過程和設(shè)備

描述

該站允許對氣-固和氣-液相互作用進(jìn)行前沿研究。該系統(tǒng)配備了自動(dòng)控制功能，允許許多不同的作員安全高效地作許多不同類型的樣品。它提供完整的 PLC 保護(hù)和軟件控制，包括機(jī)器狀態(tài)的清晰可視化、數(shù)據(jù)采集以及所有集成設(shè)備、電源和輔助設(shè)備的控制。

該系統(tǒng)的核心是基于高壓分析儀和 PREVAC 設(shè)計(jì)的氣體單元概念的分析模塊。HP 細(xì)胞縱器設(shè)計(jì)允許通過紅外激光照明（樣品池內(nèi)可達(dá)到 800 °C 以上的樣品溫度）、電阻加熱（高達(dá) 700 °C）和 LN 進(jìn)行樣品加熱₂冷卻。

分析室配有 UHV 標(biāo)準(zhǔn)的連接法蘭，用于連接當(dāng)前和未來的設(shè)備，包括：

• 帶設(shè)備的高壓半球能量分析儀，
• 帶電源的高壓 X 射線雙陽極單色源，
• 帶電源的高壓 X 射線雙陽極非單色源，
• 帶電源的 UV 單色光源，
• 帶電源的紫外線源，
• 帶電源的泛洪源，
• 帶電源的電子源，
• 帶電源的離子源，用于深度剖析或清潔，
• 帶電源的氣簇離子源，
• 樣品調(diào)節(jié)器具有較寬的溫度范圍（從 LHe/LN₂高達(dá) 1400°C）、
• 泵組（基于備用泵、TMP、離子泵和TSP，具有大面積LN₂裹尸布）、
• 帶設(shè)備的真空計(jì)，
• 用于線性傳輸系統(tǒng)的入口，例如從負(fù)載鎖到分析室，
• 加載樣品架的 Lock 室，
• viewports – 觀察窗口，
• 殘余氣體分析儀。

該系統(tǒng)的模塊化設(shè)計(jì)允許通過徑向分布傳輸解決方案或傳輸隧道與任何其他研究平臺(tái)進(jìn)行組合和集成。最終的設(shè)計(jì)和功能取決于系統(tǒng)配置。

泵送系統(tǒng)是不同類型泵的組合，例如前級真空泵、離子泵、渦輪泵或具有大面積 LN 的鈦升華泵₂護(hù)罩，根據(jù)特定應(yīng)用需求單獨(dú)選擇，以實(shí)現(xiàn)最佳泵送性能。

Spectrium 分析控制軟件允許半球形能量分析儀和各種類型的源集成和完美協(xié)作，從而實(shí)現(xiàn)輕松的配方編寫、自動(dòng)測量控制和廣泛的數(shù)據(jù)記錄。允許基于?Tango 開源設(shè)備集成新的附加組件。

選項(xiàng)

• 帶機(jī)械手的?HP 壓力傳感器
• 全自動(dòng)混合室和 4 種氣體加樣設(shè)置
• 帶電源的?UV 單色光源，
• 帶電源的電子源
• 帶電源的氣體簇離子源
• 儲(chǔ)藏室
• 徑向分布室或傳輸隧道
• 真空手提箱（運(yùn)輸箱），在負(fù)載鎖室中帶端口
• 殘余氣體分析儀
• 高溫計(jì)

技術(shù)

光電子能譜 （PES）?是一種實(shí)驗(yàn)技術(shù)，也是電子能譜的主要變體。該方法基于光電現(xiàn)象和對光電子動(dòng)能分布的分析。發(fā)射的能量是表面樣品受到電磁輻射激發(fā)的結(jié)果。?

PES 技術(shù)是最常用的表面測試和薄層檢查方法。它提供的信息包括：定量組成、原子鍵特性、層厚?；具^程（光效應(yīng)）測量光子照射物質(zhì)后產(chǎn)生的光電子發(fā)射。?

包括分析 PES 技術(shù)：?

• XPS?– X 射線光電子能譜?
• HAXPES?– 硬 X 射線光譜?
• UPS?– 紫外光電子能譜?
• ARPES?– 角度分辨光電子能譜?

其他技術(shù)：?

• IPES?– 逆光電子發(fā)光光譜?
• LEIPS?– 低能量逆光電子能譜?
• AES?– 俄歇電子能譜?
• EELS?– 電子能量損失譜?
• ISS?– 離子散射光譜?